[发明专利]一种半导体激光器外腔相干合束系统有效
| 申请号： | 201710779811.X | 申请日： | 2017-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN107404061B | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 佟存柱;孙方圆;舒世立;汪丽杰;田思聪;侯冠宇;赵宇飞;王立军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | H01S5/00 | 分类号： | H01S5/00;G02B27/14 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆宗力;王宝筠 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 半导体激光器 相干 系统 | ||
1.一种半导体激光器外腔相干合束系统，其特征在于，应用于具有多个半导体激光器的激光系统，所述半导体激光器外腔相干合束系统包括：激光处理模块、第一准直模块、第二准直模块和反射模块；其中，
所述第一准直模块和激光处理模块依次排布于所述多个半导体激光器的第一出射面一侧；
所述第二准直模块和反射模块依次排布于所述多个半导体激光器的第二出射面一侧；
所述第一准直模块和第二准直模块均用于对所述半导体激光器的出射激光进行准直处理；
所述反射模块可在所述半导体激光器的激光出射方向移动，用于将所述半导体激光器第二出射面出射的激光锁定在预设波长，并沿原光路返回，以与所述半导体激光器第一出射面出射的激光相干合束后形成待处理激光；
所述激光处理模块用于对入射的待处理激光进行光学处理后出射，以获得出射激光。
2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述第一准直模块包括N个子准直单元，所述第二准直模块包括N个子准直单元；
所述子准直单元包括沿所述半导体激光器出射面中心光轴依次设置的快轴准直镜和慢轴准直镜；
所述快轴准直镜背离所述半导体激光器一侧表面具有减反膜；
所述慢轴准直镜背离所述半导体激光器一侧表面具有减反膜；
N等于所述半导体激光器的数量，一个所述子准直单元与一个所述半导体激光器相对应。
3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述反射模块包括N个反射光学器件；
一个所述反射光学器件的中心光轴与一个所述半导体激光器的出射面中心光轴重合；
N等于所述半导体激光器的数量，一个所述反射光学器件与一个所述半导体激光器相对应。
4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述反射光学器件为衍射光栅或反射镜。
5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述衍射光栅的衍射效率大于或等于95％。
6.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述反射镜的反射率满足激光起振要求。
7.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述激光处理模块包括：傅里叶变换透镜、空间滤波器和输出耦合镜；其中，
所述傅里叶变换透镜、空间滤波器和输出耦合镜的中心光轴重合；
所述多个半导体激光器关于所述傅里叶变换透镜的中心光轴对称排布；
所述输出耦合镜背离所述空间滤波器一侧表面具有减反膜，所述输出耦合镜朝向所述空间滤波器一侧表面具有反射膜。
8.根据权利要求7所述的系统，其特征在于，所述输出耦合镜为平凹透镜，所述平凹透镜的凹面朝向所述傅里叶变换透镜一侧设置，且所述平凹透镜的凹面与所述傅里叶变换透镜的凸面互补。
9.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，还包括：控制模块；
所述控制模块用于控制所述反射模块在所述半导体激光器的激光出射方向移动。
10.根据权利要求9所述的系统，其特征在于，所述控制模块为步进电机或马达。
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