[发明专利]一种紫外探测器及其制作方法

权利要求书

1.一种紫外探测器的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括：

提供一衬底；

在所述衬底表面形成ZnMgO层；所述ZnMgO层的表面包括电极区域以及非电极区域；

在所述电极区域形成电极，所述电极表面具有In粒；

对所述非电极区域进行氟修饰处理，使得所述非电极区域具有含氟的官能团；进行氟修饰处理包括：将所述ZnMgO层浸没在含氟的溶液中预设时间，以形成所述官能团；通过去离子水清洗后，进行干燥处理；

其中，所述官能团用于增加对氧气的吸附量以及吸附速率。

2.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述在所述衬底表面形成ZnMgO层包括：

通过分子束外延工艺、或金属有机化合物化学气相沉积工艺、或磁控溅射工艺形成所述ZnMgO层。

3.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述预设时间为0.01s-24h；

所述溶液中氟的浓度为1*10^-6mol/L-10mol/L，包括端点值。

4.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述溶液为HF溶液、或KF溶液、或NaF溶液、或三氟乙酸溶液、或三氟甲磺酸溶液、或三氟丙酸溶液。

5.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述在所述电极区域形成电极包括：

在所述ZnMgO层的表面形成金层；

图案化所述金层，形成叉指电极；

在所述叉指电极上设置In粒。

6.一种紫外探测器，其特征在于，所述紫外探测器包括：

衬底；

位于所述衬底表面的ZnMgO层，所述ZnMgO层的表面包括电极区域以及非电极区域；所述非电极区域经过经过氟修饰处理，具有含氟的官能团；进行氟修饰处理包括：将所述ZnMgO层浸没在含氟的溶液中预设时间，以形成所述官能团；通过去离子水清洗后，进行干燥处理；

位于所述电极区域的电极，所述电极表面具有In粒；

其中，所述官能团用于增加对氧气的吸附量以及吸附速率。

7.根据权利要求6所述的紫外探测器，其特征在于，所述电极为金电极，厚度为5nm-300nm，包括端点值。

8.根据权利要求6所述的紫外探测器，其特征在于，所述电极为叉指电极。

9.根据权利要求6所述的紫外探测器，其特征在于，所述In粒为直径大于0.5mm的圆柱形结构。