[发明专利]集成电路芯片中的系统缺陷的故障标识数据库的早期开发

权利要求书

1.一种开发集成电路中系统缺陷的故障标识数据库的方法，包括：

开发故障标识数据库，该故障标识数据库储存与系统缺陷关联的故障标识及相应根本原因，该系统缺陷被先前识别于依据特定设计制造的不合格原型芯片上且该相应根本原因在考虑用以形成至少一原型芯片的不同制程规格的情况下确定；

使用该故障标识数据库以任何预防及检测后续依据该特定设计并使用特定制程规格组制造的生产芯片中的特定系统缺陷，其中所述使用该故障标识数据库包括：

在所述开发该故障标识数据库以后，制造该生产芯片；

识别不合格生产芯片；

针对该不合格生产芯片的系统缺陷开发新的故障标识；以及

比较该新的故障标识与该故障标识数据库中的该故障标识以找到标识匹配，各标识匹配表示给定的不合格生产芯片与给定的不合格原型芯片具有由相同的根本原因引起的相同的系统缺陷；以及

基于该标识匹配执行在线先进制程控制。

2.如权利要求1所述的方法，所述使用该故障标识数据库包括评估该故障标识数据库中的该故障标识，以及基于该评估的结果，调整任何该特定设计及该特定制程规格组中的该制程规格，以防止在该生产芯片中发生与该故障标识数据库中的至少一个特定故障标识对应的至少一个特定系统缺陷。

3.如权利要求1所述的方法，所述使用该故障标识数据库包括评估该故障标识，以及基于该评估的结果，在制造该生产芯片期间执行至少一个特定层级检查，以检测与该故障标识数据库中的至少一个特定故障标识对应的至少一个特定系统缺陷。

4.如权利要求1所述的方法，还包括：执行根本原因分析，以确认至少一该系统缺陷的该相应根本原因。

5.如权利要求1所述的方法，该特定制程规格组中的该制程规格包括光刻制程规格。

6.一种开发集成电路中系统缺陷的故障标识数据库的方法，包括：

开发故障标识数据库，所述开发包括：

依据特定设计制造原型芯片，并使用不同的制程规格来形成至少一该原型芯片；

识别具有系统缺陷的不合格原型芯片；

针对该系统缺陷开发故障标识，各故障标识表示与特定不合格原型芯片的特定系统缺陷关联的测试结果；

针对该系统缺陷假定相应根本原因，该特定系统缺陷具有基于该测试结果以及基于用以形成该特定不合格原型芯片的特定制程规格假定的根本原因；

在该故障标识数据库中储存具有该相应根本原因的该故障标识；

使用该故障标识数据库以任何预防及检测后续依据该特定设计并使用特定制程规格组制造的生产芯片中的特定系统缺陷，其中所述使用该故障标识数据库包括：

在所述开发该故障标识数据库以后，制造该生产芯片；

识别不合格生产芯片；

针对该不合格生产芯片的系统缺陷开发新的故障标识；以及

比较该新的故障标识与该故障标识数据库中的该故障标识以找到标识匹配，各标识匹配表示给定的不合格生产芯片与给定的不合格原型芯片具有由相同的根本原因引起的相同的系统缺陷；以及

基于该标识匹配执行在线先进制程控制。

7.如权利要求6所述的方法，所述使用该故障标识数据库包括评估该故障标识数据库中的该故障标识，以及基于该评估的结果，调整任何该特定设计及该特定制程规格组中的该制程规格，以防止在该生产芯片中发生与该故障标识数据库中的至少一个特定故障标识对应的至少一个特定系统缺陷。

8.如权利要求6所述的方法，所述使用该故障标识数据库包括评估该故障标识，以及基于该评估的结果，在制造该生产芯片期间执行至少一个特定层级检查，以检测与该故障标识数据库中的至少一个特定故障标识对应的至少一个特定系统缺陷。

9.如权利要求6所述的方法，还包括：执行根本原因分析，以确认该系统缺陷的该相应根本原因。

10.如权利要求6所述的方法，该特定制程规格组中的该制程规格包括光刻制程规格。