[发明专利]光电元件的制备方法在审

专利信息
申请号: 201710785260.8 申请日: 2017-09-04
公开(公告)号: CN107799427A 公开(公告)日: 2018-03-13
发明(设计)人: 张灵;卢厚德 申请(专利权)人: 达兴材料股份有限公司
主分类号: H01L21/56 分类号: H01L21/56
代理公司: 北京市柳沈律师事务所11105 代理人: 王华芹
地址: 中国台*** 国省代码: 台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 光电 元件 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种光电元件的制备方法,包括:

(a)于承载材上形成一层高分子层,该高分子层是以一种于光线照射下会产生降解的材料为主;

(b)于该高分子层上形成光电元件;

(c)对该高分子层施加光线照射,以使该高分子层产生降解,并使该承载材与该光电元件分离;及

(d)利用清洗组合物清洗该承载材或该光电元件;

其中,该清洗组合物包含由化学式1所示的链状碳酸酯、以及汉森溶解度参数范围为9~15(cal/cm3)1/2的有机溶剂,

[化学式1]

R1及R2相同或不同且各自独立地表示C1~C5烷基、C2~C5烯基或苯基。

2.如权利要求1所述的光电元件的制备方法,其中,该高分子层的材料选自于聚酰亚胺、聚苯并唑、聚酯、酚醛树脂、丙烯酸类树脂、环氧树脂、或前述的组合。

3.如权利要求1所述的光电元件的制备方法,其中,该由化学式1所示的链状碳酸酯选自于碳酸二甲酯、碳酸二乙酯、碳酸二丙酯、碳酸二正丁酯、碳酸甲乙酯、碳酸甲丙酯、碳酸乙丙酯、碳酸烯丙基甲基酯、碳酸二烯丙基酯、或前述的组合。

4.如权利要求1所述的光电元件的制备方法,其中,该有机溶剂于760mmHg下的最低沸点为140℃。

5.如权利要求1所述的光电元件的制备方法,其中,该有机溶剂选自于N-甲基吡咯烷酮、N-乙基吡咯烷酮、N-异丙基吡咯烷酮、二甲基乙酰胺、二甲基甲酰胺、二乙基甲酰胺、γ-丁内酯、二甲基亚砜、丙二醇甲基醚乙酸酯、由化学式2所示的环状碳酸酯、或前述的组合,

[化学式2]

R3、R4、R5及R6相同或不同且各自独立地表示氢、C1~C5烷基或C2~C5烯基。

6.如权利要求5所述的光电元件的制备方法,其中,该由化学式2所示的环状碳酸酯选自于碳酸丙烯酯或碳酸丁烯酯。

7.如权利要求5所述的光电元件的制备方法,其中,该有机溶剂选自于N-甲基吡咯烷酮、γ-丁内酯、二甲基亚砜或碳酸丙烯酯。

8.如权利要求1所述的光电元件的制备方法,其中,以该清洗组合物的总重量为100wt%计算,该链状碳酸酯的含量范围为5~95wt%,及该有机溶剂的含量范围为5~95wt%。

9.如权利要求1所述的光电元件的制备方法,其中,该步骤(c)的光线是激光。

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