[发明专利]一种灯丝定位系统及灯丝定位方法

说明书

本发明公开了一种灯丝定位系统及灯丝定位方法，用以解决现有灯丝定位效率低、精度低的问题。本发明公开的灯丝定位系统包括底板、第一定位调节机构和第二定位调节机构；第一定位调节机构用于对灯丝座在底板上的位置进行调节定位，以使不同型号的灯丝座均能固定在底板上；第二定位调节机构用于对灯丝进行定位调节；检测模块，用于采集并显示所述灯丝尖和所述灯丝座的位置信息，所述第一定位调节机构和所述第二定位调节机构根据所述位置信息对应调节所述灯丝座和所述灯丝尖的位置。本发明公开的灯丝定位系统及采用该灯丝定位系统的灯丝定位方法，在适用于不同类型的灯丝的定位的同时，提高了传统灯丝定位的精度和效率。

技术领域

本发明涉及机械工程与自动化领域，尤其涉及一种灯丝定位系统及灯丝定位方法。

背景技术

电子显微镜作为微观形貌观察的有力工具，正越来越迅速、广泛地应用于冶金、矿物、化工、医药、生物、生物医学、食品、纳米材料等领域。电子显微镜主要包括透射电子显微镜和扫描电子显微镜。透射电子显微镜(TEM)用聚焦电子束作照明源，使用对电子束透明的薄膜样品，以透过试样的透射电子束或衍射电子束所形成的图像来分析试样内部的显微组织结构。扫描电子显微镜是利用二次电子反射的高能电子束在试样上扫描，激发出各种物理信息。通过对这些信息的接收、放大和显示成像，获得测试样品表面二维结构形貌的观察。

显微镜的整个电子光学部分完全置于镜筒之内，自上而下顺序排列着电子枪、聚光镜、物镜、中间镜、投影镜、观察室、荧光屏、CCD等装置。其中由电子枪、聚光镜等装置组成的照明系统为成像系统提供一束亮度高、相干性好的照明光源。电子枪由阴极、控制极(栅极)和阳极构成。在真空中高压加热后从阴极发射的电子获得较高的动能，形成定向高速电子流(电子束)。在一定范围内，灯丝电流越大，灯丝温度越高，发射的电子越多，灯丝表面蒸发越快。因而灯丝有一定寿命，如钨灯丝一般是100-150小时，六硼化镧灯丝大于1000小时，六硼化铈灯丝1500左右。这就需要经常更换灯丝。

更换电子显微镜灯丝时，对灯丝的位置也有非常严格的限定：灯丝的尖端要求必须位于电子枪的中心位置。如果灯丝的位置偏移，很容易导致灯丝亮度偏暗，操作人员需要通过增加偏压或电流来提高亮度，进而造成灯丝损伤。目前更换灯丝完全依靠手工，不仅浪费了仪器管理人员的大量时间，而且调节时，由于灯丝尖与栅帽孔中心不在同一平面，因此人工视觉差异可能导致灯丝安装位置的偏差，这将会在不同程度上影响显微镜成像的使用质量。同时，由于生产厂家的差异和灯丝类型的差异，不同的电子显微镜灯丝具有不同灯丝定位座和灯丝底座，在对不同类型灯丝进行定位时需要采用不同的固定安装模块进行灯丝的安装和调节，费时费力，且效率低下，在造成资源浪费的同时，也难以保证定位的精度。

发明内容

本发明提供一种灯丝定位系统及灯丝定位方法，以实现对不同类型电镜灯丝的精确、高效定位。

为实现上述目的，本发明采用下述技术方案：

一种灯丝定位系统，包括底板、第一定位调节机构和第二定位调节机构；

所述底板上设置有用以固定灯丝的灯丝座，所述第一定位调节机构安装在所述底板上，用以调节所述灯丝座在所述底板上的位置；

所述定位座具有第一定位中心，所述第二定位调节机构用于调节所述灯丝，使所述灯丝位于所述第一定位中心；

检测模块，用于采集并显示所述灯丝的灯丝尖和所述灯丝座的位置信息，所述第一定位调节机构和所述第二定位调节机构根据所述位置信息对应调节所述灯丝座和所述灯丝的位置。