[发明专利]一种铝坡莫合金夹心板及应用其制备的等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201710785979.1 | 申请日： | 2017-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN109427528B | 公开（公告）日： | 2021-01-19 |
| 发明（设计）人： | 刘季霖;王凯麟;吴狄;左涛涛 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;B32B15/20;B32B15/01;B32B7/10 |
| 代理公司： | 上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 | 代理人： | 周乃鑫 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 铝坡莫 合金 夹心板 应用 制备 等离子体 处理 装置 | ||
1.一种铝坡莫合金夹心板，其特征在于，该夹心板包含：
高导磁层(10)，所述的高导磁层(10)的厚度为0.1mm～1mm；包覆在高导磁层(10)两侧的高导电层(20)，
设置在高导磁层(10)和高导电层(20)之间的高强度耐高温胶层(30)；
所述的高导磁层(10)包含：坡莫合金；
所述的高导电层(20)包含：铝或铝合金；
所述的铝坡莫合金夹心板用于构成等离子体处理装置的反应腔(1)的外壁。
2.根据权利要求1所述的铝坡莫合金夹心板，其特征在于，所述的高强度耐高温胶层(30)包含：高强度耐高温压敏胶。
3.根据权利要求2所述的铝坡莫合金夹心板，其特征在于，所述的高强度耐高温压敏胶(30)包含：聚丙烯酸酯。
4.根据权利要求1所述的铝坡莫合金夹心板，其特征在于，所述的坡莫合金包含以下组份：质量分数大于或等于50％的镍，余量为Fe和不可避免的杂质元素。
5.根据权利要求1所述的铝坡莫合金夹心板，其特征在于，所述的高导电层(20)的厚度为0.5mm～5mm。
6.根据权利要求1所述的铝坡莫合金夹心板，其特征在于，所述的高强度耐高温胶层(30)的厚度大于0，且小于0.3mm。
7.一种根据权利要求1-6中任意一项所述的铝坡莫合金夹心板的用途，其特征在于，该用途包含：通过切割、折弯和冲裁的方式加工成为含坡莫合金的钣金件。
8.一种等离子体处理装置，该装置包括：
反应腔(1)，其由外壁围成且内部设置基座(11)用于对待处理基片(12)进行支撑；
气体供应装置(2)，其与所述的反应腔(1)连接，用于输送反应气体至所述的反应腔(1)内；以及
射频功率源(3)，其与所述的反应腔(1)连接，用于施加射频功率至所述的反应腔(1)，将反应腔(1)内的反应气体电离产生等离子体(13)；
其特征在于，所述的反应腔(1)的外壁材料由权利要求1-6中任意一项所述的铝坡莫合金夹心板构成。
9.根据权利要求8所述的等离子体处理装置，其特征在于，该装置为电容耦合等离子体处理装置或电感耦合等离子体处理装置。
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