[发明专利]用于选择性金属化的屏蔽涂层在审
申请号: | 201710788790.8 | 申请日: | 2017-09-05 |
公开(公告)号: | CN107814961A | 公开(公告)日: | 2018-03-20 |
发明(设计)人: | 陈鸿达;叶家明;陈喆垚;余国伟 | 申请(专利权)人: | 罗门哈斯电子材料有限责任公司 |
主分类号: | C08J7/04 | 分类号: | C08J7/04;C09D179/02;C09D171/02;C23C18/16 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人: | 陈哲锋,胡嘉倩 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 选择性 金属化 屏蔽 涂层 | ||
1.一种聚合物衬底金属化的方法,包含:
a)提供聚合物衬底;
b)将包含聚胺化合物的底涂剂施用于所述聚合物衬底以在所述聚合物衬底上提供亲水性涂层;
c)直接邻近所述底涂剂施用疏水性顶涂层以在所述衬底上形成屏蔽涂层,所述疏水性顶涂层包含一种或多种选自烷基醇烷氧基化物、烷基硫醇、非聚合物烷基伯胺和非聚合物烷基仲胺的化合物;
d)选择性蚀刻所述屏蔽涂层以暴露部分所述聚合物衬底;
e)将催化剂提供于包含所述屏蔽涂层的所述聚合物衬底;以及
f)选择性无电金属镀覆所述聚合物衬底。
2.根据权利要求1所述的方法,其中所述聚胺选自聚亚烷基聚胺和直链或支链聚亚烷基亚胺。
3.根据权利要求2所述的方法,其中所述聚亚烷基聚胺具有以下通式:
其中R1、R2、R3、R4和R5独立地选自氢和直链或支链(C1-C4)烷基,其中a是2至6并且b是2至6。
4.根据权利要求3所述的方法,其中所述聚亚烷基聚胺选自二亚乙基三胺、三亚乙基四胺、四亚乙基五胺、五亚乙基六胺和六亚乙基七胺。
5.根据权利要求2所述的方法,其中所述直链聚亚烷基亚胺具有下式:
H-(CH2-(CH2)d-NH-)e-H(II)
其中d和e是相同或不同的并且至少是1。
6.根据权利要求2所述的方法,其中所述直链或支链聚亚烷基亚胺具有下式:
-(NHCH2CH2-)f[-N(CH2CH2NH2)CH2CH2-]g(III)
其中f是1至120,000并且g是1至60,000。
7.根据权利要求2所述的方法,其中所述支链聚亚烷基亚胺是质子化聚亚乙基亚胺(PEI盐)。
8.根据权利要求1所述的方法,其中所述烷基醇烷氧基化物是具有下式的聚乙氧基化醇聚合物:
CH3(CH2)m-(O-CH2-CH2)n-OH(IV)
其中m是7至25;并且n表示1至25的平均乙氧基化程度。
9.根据权利要求1所述的方法,其中所述烷基醇烷氧基化物是具有下式的脂肪族乙氧基化/丙氧基化共聚物:
R-O-(CH2CH2O)x-(CH2CH2CH2O)y-H(V)或
R-O-(CH2CH2O)x-(CH2CH(CH3)O)y-H(VI)
其中R是具有8至22个碳原子的直链或支链烷基或异十三基,并且x和y独立地选自1至20。
10.根据权利要求1所述的方法,其中所述烷基醇烷氧基化物是具有下式的脂肪族丙氧基化/乙氧基化共聚物:
R-O-(CH2CH(CH3)O)x-(CH2CH2O)y-H(VII)或
R-O-(CH2CH2CH2O)x-(CH2CH2O)y-H(VIII)
其中R是具有8至22个碳原子的直链或支链烷基或异十三基,并且x和y独立地选自1至20。
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