[发明专利]一种游离磨粒轨迹检测方法

权利要求书

1.一种游离磨粒轨迹检测方法，其特征在于它主要包括以下步骤：

S1磨料染色；选用与研磨或抛光加工中采用的磨料相同的磨料，先采用表面活性剂清洗磨料表面，再用去离子水多次清洗，然后用紫外荧光染料对磨料进行染色，染色后磨料进行干燥并存放在密封容器内备用；

S2磨料加注；在磨料加注前先配检测浆料，检测浆料中的磨料为磨料染色阶段获得的紫外荧光染料染色的磨料，检测浆料中磨料、溶液、添加剂的含量及配比与研磨或抛光加工采用的含量及配比相同；在研磨或抛光加工过程中以压力P在注入口注入检测浆料，在研磨或抛光盘转动n圈后停止，不擦除表面的浆料，等浆料蒸发一部分水分粘度增大时取出工件，取出过程需要保持工件水平；

S3磨粒检测；采用紫外荧光灯管照射抛光的工件，工件表面的染色磨粒表面的紫外荧光染料发光，显示出工件表面粘附的荧光染料的位置，采用CCD拍摄出表面磨粒发荧光的工件照片，通过对工件照片上离散荧光点的图像分析处理得到染色磨料的分布特性和规律；

S4重复步骤S2、S3若干次，从而得出研磨或抛光过程中游离态磨粒的运动轨迹；染色磨粒的运动轨迹能够真实反映麿料在加工中的运动规律；

研磨或抛光盘的检测浆料注入口位置位于工件加工时的安装中心线上，检测浆料注入压力P等于加工用的研磨液或抛光液的压力；所述的轨迹检测针对S2磨料加注阶段、S3磨粒检测阶段在不同的研磨或抛光盘转动圈数n下进行对比检测，转动圈数n采用一组3个以上等差数列分布的转数，圈数n不超过100。