[发明专利]一种基于扫描速度的压电扫描器扫描范围校正方法及系统

权利要求书

1.一种基于扫描速度的压电扫描器扫描范围校正方法，其特征在于：包括以下步骤：

控制压电扫描器以一系列不同的给定扫描速度对标准样品进行实际的扫描成像，并根据实际的扫描成像结果拟合出压电扫描器实际的扫描范围与扫描速度的关系；

获取压电扫描器在对被测样品进行检测时的实际扫描速度，并结合拟合出的关系对压电扫描器的实际扫描范围进行校正。

2.根据权利要求1所述的一种基于扫描速度的压电扫描器扫描范围校正方法，其特征在于：所述控制压电扫描器以一系列不同的给定扫描速度对标准样品进行实际的扫描成像，并根据实际的扫描成像结果拟合出压电扫描器实际的扫描范围与扫描速度的关系这一步骤，具体包括：

对待校准的压电扫描器，采用标准样品以一系列不同的给定扫描速度进行实际的扫描成像，获得待校准的压电扫描器对应于每个扫描速度的实际扫描范围；

根据待校准的压电扫描器对应于每个扫描速度的实际扫描范围，采用拟合方法拟合出待校准的压电扫描器实际的扫描范围与扫描速度的关系曲线或关系函数。

3.根据权利要求2所述的一种基于扫描速度的压电扫描器扫描范围校正方法，其特征在于：所述拟合方法为多项式拟合方法。

4.根据权利要求1、2或3所述的一种基于扫描速度的压电扫描器扫描范围校正方法，其特征在于：所述获取压电扫描器在对被测样品进行检测时的实际扫描速度，并结合拟合出的关系对压电扫描器的实际扫描范围进行校正这一步骤，具体包括：

从离线后处理校正法和实时在线校正法中选择一种作为实际的校准方法；

根据选择的校准方法获取压电扫描器在对被测样品进行检测时的实际扫描速度，并结合拟合出的关系对压电扫描器的实际扫描范围进行校正。

5.根据权利要求4所述的一种基于扫描速度的压电扫描器扫描范围校正方法，其特征在于：所述根据选择的校准方法获取压电扫描器在对被测样品进行检测时的实际扫描速度，并结合拟合出的关系对压电扫描器的实际扫描范围进行校正这一步骤，具体包括：

在扫描探针显微镜得到被测样品的检测结果后，采用离线的方式获得被测样品的检测结果中的扫描速度；

根据获得的扫描速度和拟合出的扫描探针显微镜所用压电扫描器实际的扫描范围与扫描速度的关系，对扫描探针显微镜所用压电扫描器的实际扫描范围进行离线校准，进而根据离线校准后的实际扫描范围得到被测样品校准后的检测结果。

6.根据权利要求4所述的一种基于扫描速度的压电扫描器扫描范围校正方法，其特征在于：所述根据选择的校准方法获取压电扫描器在对被测样品进行检测时的实际扫描速度，并结合拟合出的关系对压电扫描器的实际扫描范围进行校正这一步骤，具体包括：

在线实时获取扫描探针显微镜所用压电扫描器在对被测样品进行检测时的实际扫描速度；

根据在线实时获取的实际扫描速度和拟合出的扫描探针显微镜所用压电扫描器实际的扫描范围与扫描速度的关系，对扫描探针显微镜所用压电扫描器的实际扫描范围进行在线校准，进而根据在线校准后的实际扫描范围实时得到被测样品的检测结果。

7.一种基于扫描速度的压电扫描器扫描范围校正系统，其特征在于：包括：

实际扫描成像与拟合模块，用于控制压电扫描器以一系列不同的给定扫描速度对标准样品进行实际的扫描成像，并根据实际的扫描成像结果拟合出压电扫描器实际的扫描范围与扫描速度的关系；

实际扫描范围校正模块，用于获取压电扫描器在对被测样品进行检测时的实际扫描速度，并结合拟合出的关系对压电扫描器的实际扫描范围进行校正。

8.根据权利要求7所述的一种基于扫描速度的压电扫描器扫描范围校正系统，其特征在于：所述实际扫描成像与拟合模块包括：

实际扫描成像单元，用于对待校准的压电扫描器，采用标准样品以一系列不同的给定扫描速度进行实际的扫描成像，获得待校准的压电扫描器对应于每个扫描速度的实际扫描范围；

拟合单元，用于根据待校准的压电扫描器对应于每个扫描速度的实际扫描范围，采用拟合方法拟合出待校准的压电扫描器实际的扫描范围与扫描速度的关系曲线或关系函数。