[发明专利]一种手动可同步调节高度和角度的圆靶挡板结构有效
申请号: | 201710793854.3 | 申请日: | 2017-09-06 |
公开(公告)号: | CN107338413B | 公开(公告)日: | 2023-06-23 |
发明(设计)人: | 杨元才;朱振东;熊凯;钱鹏亮;褚景豫 | 申请(专利权)人: | 上海福宜真空设备有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34 |
代理公司: | 上海裕创慧成知识产权代理事务所(普通合伙) 31384 | 代理人: | 黄裕 |
地址: | 201821 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 手动 同步 调节 高度 角度 挡板 结构 | ||
本发明公开了一种手动可同步调节高度和角度的圆靶挡板结构,其特征在于,包括圆靶、圆靶转向夹持机构、法兰、焊接波纹管组件、支撑管、密封结构、挡板;挡板调节机构;挡板设置在圆靶的上方,在圆靶的下方设置圆靶转向夹持机构;圆靶转向夹持机构的中间连接一焊接波纹管组件;焊接波纹管组件的下端连接支撑管;支撑管伸入设置在法兰上的密封结构;圆靶转向夹持机构的右侧夹持挡板调节机构;挡板调节机构随圆靶、圆靶转向夹持机构一起角度和高度同步调节;实现了在圆靶挡板结构中的挡板结构在高度和角度可以同步进行调节,进一步提升了圆靶镀膜的工艺连续性。
技术领域
本发明涉及一种调节结构,尤其涉及一种手动可同步调节高度和角度的圆靶挡板结构。
背景技术
在现有的镀膜设备中,如果圆靶安装有挡板机构,往往无法在调节圆靶的过程中,也实现对挡板的调节,需要高频次的拆卸挡板机构才能达到调节的效果,大大降低了镀膜的效率,也增加了员工的工作负担。
发明内容
本发明的目的是根据上述现有技术的不足之处,本发明目的实现一种手动可同步调节高度和角度的圆靶挡板结构,其特征在于,包括圆靶、圆靶转向夹持机构、法兰、焊接波纹管组件、支撑管、密封结构、挡板;挡板调节机构;所述的挡板设置在圆靶的上方,在圆靶的下方设置所述的圆靶转向夹持机构;所述的圆靶转向夹持机构的中间连接一焊接波纹管组件;所述的焊接波纹管组件的下端连接支撑管;所述的支撑管伸入设置在法兰上的密封结构;所述的圆靶转向夹持机构的右侧夹持挡板调节机构;所述的挡板调节机构随圆靶、圆靶转向夹持机构一起在角度和高度上同步调节。
进一步,所述的挡板调节机构,还包括连接杆、万向节、升降杆、定位销、槽型套管、驱动轴;所述的挡板连接一连接杆,所述的连接杆穿过圆靶转向夹持机构的上端;连接一万向节的一端;万向节的另一端连接一升降杆;升降杆伸入一槽型套管中,在槽型套管上对称开设对称腰形槽;在腰形槽中插入一定位销;与升降杆固定连接,定位销在腰形槽中随升降杆的上、下滑动,槽型套管的下端固定连接一驱动轴;驱动轴穿过法兰与设置在法兰下方的电机装置相连接
进一步,所述的电机装置还包括支撑柱、联轴器、电机;支撑板;支撑柱与法兰螺纹连接;所述的驱动轴设置在支撑柱的中间;支撑柱上设置一支撑板;所述的驱动轴穿过支撑板与联轴器连接;联轴器同样设置在支撑柱之间;在支撑柱的下端设置螺纹,穿入电机上的盖板,与电机螺纹连接。
进一步,所述的电机为伺服电机、调速电机、同步电动机、异步电动机中的任意一种。
进一步,所述的密封结构,包括上密封套,上密封套固定在法兰的上方,与法兰为螺纹连接;下密封套固定在法兰的下方,下密封套的中间设置密封胶圈,在下密封套的下方设置一端盖;所述的支撑管依次穿过密封套、法兰、下密封套以及端盖。
在本发明的技术效果在于,是实现了在圆靶挡板结构中的挡板结构在高度和角度可以同步进行调节,进一步提升了圆靶镀膜工艺的连续性,节省了时间。
附图说明
图1是本发明的主视图。
图2是本发明的右视图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
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