[发明专利]交叉传样装置及具有该交叉传样装置的超高真空测量系统

权利要求书

1.一种交叉传样装置，其特征在于，所述交叉传样装置设置在超高真空测量系统中，用于传递待测的样品，所述交叉传样装置包括至少一组交叉传样组，每组所述交叉传样组包括：

第一真空管道(10)；

第二真空管道(20)，所述第二真空管道(20)平行于所述第一真空管道(10)；

第三真空管道(30)，所述第三真空管道(30)连接在所述第一真空管道(10)和所述第二真空管道(20)的管道中段之间，形成交叉连通的传样通道；

第一转运部(11)，所述第一转运部(11)设置在所述第一真空管道(10)内的上方，并位于所述第一真空管道(10)与所述第三真空管道(30)交界处；

第二转运部(21)，所述第二转运部(21)设置在所述第二真空管道(20)内的上方；

第三转运部(31)，所述第三转运部(31)设置在所述第三真空管道(30)内的上方，并位于所述第二真空管道(20)与所述第三真空管道(30)交界处；

第一传样车(12)，所述第一传样车(12)承载所述样品在所述第一真空管道(10)内行驶，并将所述待测样品运送至所述第一转运部(11)的下方；

第二传样车(22)，所述第二传样车(22)在所述第二真空管道(20)内行驶；

第三传样车(32)，所述第三传样车(32)在所述第三真空管道(30)内行驶，所述第一转运部(11)将所述样品转运由所述第一传样车(12)转运至所述第三传样车(32)的靠近所述第一真空管道(10)侧的第一端(321)，并由所述第三传样车(32)将样品运送至所述第三转运部(31)的下方，所述第三转运部(31)将所述样品由所述第三传样车(32)的第一端(321)转运至所述第三传样车(32)靠近所述第二真空管道(20)侧的第二端(322)，所述第二转运部(21)将所述样品由所述第三传样车(32)转运至所述第二传样车(22)。

2.根据权利要求1所述的交叉传样装置，其特征在于，所述第一真空管道(10)设置有导向所述第一传样车(12)行驶的第一轨道，所述第二真空管道(20)设置有导向所述第二传样车(22)行驶的第二轨道，所述第三真空管道(30)设置有导向所述第三传样车(32)行驶的第三轨道，且所述第三轨道的一端位于所述第一真空管道(10)外、另一端位于所述第二真空管道(20)外。

3.根据权利要求2所述的交叉传样装置，其特征在于，所述第三传样车(32)的第一端(321)可伸入所述第一真空管道(10)内，第二端(322)可伸入所述第二真空管道(20)内。

4.根据权利要求1所述的交叉传样装置，其特征在于，所述第一传样车(12)、所述第二传样车(22)和所述第三传样车(32)的顶面设置有放置所述样品的样品托盘(2a)，所述第一传样车(12)和所述第二传样车(22)至少设置一个所述样品托盘(2a)，所述第三传样车(32)至少设置两个所述样品托盘(2a)，并且所述第三传样车(32)的第一端(321)和第二端(322)均设置一个所述样品托盘(2a)。

5.根据权利要求4所述的交叉传样装置，其特征在于，所述第一转运部(11)、所述第二转运部(21)和所述第三转运部(31)均具有伸缩部(1a)，所述伸缩部(1a)沿竖直方向伸缩，在竖直方向上调整所述第一转运部(11)、所述第二转运部(21)和所述第三转运部(31)相对所述样品托盘(2a)的位置。

6.根据权利要求5所述的交叉传样装置，其特征在于，所述第一转运部(11)、所述第二转运部(21)和所述第三转运部(31)进一步均具有抓取部(1b)，所述样品托盘(2a)的边缘限位于所述抓取部(1b)，以转运所述样品托盘(2a)。

7.根据权利要求6所述的交叉传样装置，其特征在于，所述第一转运部(11)、所述第二转运部(21)和所述第三转运部(31)进一步均具有转动部(1c)，所述转动部(1c)连接在所述伸缩部(1a)的伸出端，且所述抓取部(1b)连接在所述转动部(1c)的底部，所述转动部(1c)以所述伸缩部(1a)为轴线转动，在周向方向上转动调整所述抓取部(1b)与相对所述样品托盘(2a)边缘的位置。