[发明专利]一种传样装置和超高真空测量系统

权利要求书

1.一种传样装置(100)，其特征在于，包括：

一个中转腔(10)，所述中转腔(10)内具有第一抓取装置(11)；

多个直线腔(20)，多个直线腔(20)放射式地分布在所述中转腔(10)周围，每个直线腔(20)的第一端(20a)与所述中转腔(10)连通，第二端(20b)与一个检测设备(30)连通，每个直线腔(20)内具有一个沿着直线腔(20)往复移动的样品小车(40)，以在所述检测设备(30)与直线腔(20)的第一端(20a)之间传送样品(41)；

所述第一抓取装置(11)具有在所述中转腔(10)与任一直线腔(20)之间伸缩的水平自由度，和在所述直线腔(20)所在的平面内以所述中转腔(10)的中心为轴旋转、以对准任一直线腔(20)的旋转自由度，以将一个直线腔(20)内的样品(41)传送至另一个直线腔(20)中；和

第二抓取装置(21)，每个直线腔(20)的第一端(20a)处具有一个第二抓取装置(21)，当直线腔(20)内的样品小车(40)移动至第一端(20a)时，该第二抓取装置(21)从样品小车(40)抓取样品(41)。

2.如权利要求1所述的传样装置(100)，其特征在于，所述样品小车(40)包括：

样品托(42)，一个或多个所述样品(41)可分离地固定在所述样品托(42)上，该样品托(42)可分离地固定在所述样品小车(40)上；

当直线腔(20)内的样品小车(40)移动至第一端(20a)时，该第二抓取装置(21)从样品小车(40)抓取所述样品托(42)。

3.如权利要求2所述的传样装置(100)，其特征在于，该第二抓取装置(21)从样品小车(40)抓取所述样品托(42)以后，所述第一抓取装置(11)自所述中转腔(10)伸入至对应的直线腔(20)内，从该第二抓取装置(21)抓取所述样品托(42)或者从所述样品托(42)抓取样品(41)，并且缩回至所述中转腔(10)内，旋转对准并且伸入至目标直线腔(20)内，以将样品托(42)或者样品传递至所述目标直线腔(20)内的第二抓取装置(21)。

4.如权利要求2所述的传样装置(100)，其特征在于，所述第二抓取装置(21)具有与所述样品托(42)对应的第一工作高度、与所述第一抓取装置(11)对应的第二工作高度、和在所述第一工作高度和第二工作高度上方的第三工作高度；

当直线腔(20)内的样品小车(40)移动至第一端(20a)时，所述第二抓取装置(21)自第三工作高度移动至第一工作高度，在抓取所述样品托(42)后返回至第三工作高度；

当第二抓取装置(21)自第三工作高度移动至第二工作高度后，所述第一抓取装置(11)自所述中转腔(10)伸入至对应的直线腔(20)内，从该第二抓取装置(21)抓取所述样品托(42)或者从所述样品托(42)抓取样品(41)。

5.如权利要求2所述的传样装置(100)，其特征在于，多个所述样品(41)沿所述直线腔(20)的延伸方向间隔排布在所述样品托(42)上。

6.如权利要求1至5中任一权利要求所述的传样装置(100)，其特征在于，所述多个直线腔(20)等角度(α)间隔地分布。

7.如权利要求6所述的传样装置(100)，其特征在于，所述第一抓取装置(11)在所述中转腔(10)内的旋转角度为间隔角度(α)的整数倍。

8.一种超高真空测量系统，其特征在于，包括：

多个检测设备(30)；和

如权利要求1至7中任一权利要求所述的传样装置(100)，用于在任意两个检测设备(30)之间传送样品(41)。