[发明专利]一种超快激光定点照射装置

权利要求书

1.一种激光定点照射装置，其特征在于，包括超快激光器、第三反射镜和转台；

所述第三反射镜设于所述超快激光器的激光光路上；所述转台可沿一转动轴转动，所述转台上固定有反射镜组和凹面反射镜，凹面反射镜中心距转动轴的距离为所述凹面反射镜曲率半径的一半，所述反射镜组用于将第三反射镜的反射激光传输至凹面反射镜，反射镜组传输至凹面反射镜的反射激光光束为平行于凹面反射镜光轴的近轴光束，反射镜组传输的反射激光经凹面反射镜反射后汇聚至所述转动轴。

2.根据权利要求1所述的激光定点照射装置，其特征在于，所述第三反射镜设于一平移台上，所述平移台可沿激光光路移动；所述反射镜组包括第四反射镜及第四反射镜反射光路后的子反射镜组，所述第四反射镜设于一旋转台上，所述旋转台可在转台上自转，所述第四反射镜的反射中心作为 所述旋转台的自转轴心，所述第四反射镜用于接收第三反射镜的反射激光，并通过自转使反射激光以固定角度入射至子反射镜组。

3.根据权利要求2所述的激光定点照射装置，其特征在于，所述子反射镜组包括第五反射镜、第六反射镜和第七反射镜；所述第五反射镜设于所述第四反射镜的反射光路上，所述第六反射镜设于所述第五反射镜的反射光路上，所述第七反射镜设于所述第六反射镜的反射光路上，所述凹面反射镜设于所述第七反射镜的反射方向上。

4.根据权利要求3所述的激光定点照射装置，其特征在于，所述第四反射镜、第五反射镜、第六反射镜的反射中心构成一边长为2a的正方形的三个顶点，所述正方形的中心在转台的转动轴处，所述第七反射镜位于所述正方形的一边上，且所述第七反射镜与第六反射镜的反射中心的距离小于a。

5.根据权利要求4所述的激光定点照射装置，其特征在于，所述第四反射镜为宽角度全反镜，所述第五反射镜、第六反射镜和第七反射镜均为45°全反镜，且所述第五反射镜、第六反射镜和第七反射镜分别与正方形对应的边夹角均为45°。

6.根据权利要求4所述的激光定点照射装置，其特征在于，所述凹面反射镜位于所述正方形的中心线上。

7.根据权利要求4所述的激光定点照射装置，其特征在于，还包括第一反射镜、第二反射镜和延时装置；所述第一反射镜设于超快激光器的发射光路上，所述延时装置用于接收第一反射镜的反射光并传递至所述第二反射镜，所述第二反射镜用于接收延时装置反射的激光并反射至第三反射镜；所述延时装置可沿第一反射镜的反射光路移动。

8.根据权利要求7所述的激光定点照射装置，其特征在于，所述延时装置包括第九反射镜和第十反射镜，所述第九反射镜设于所述第一反射镜的反射光路上，所述第十反射镜设于所述第九反射镜的反射光路上，所述第二反射镜设于所述第十反射镜的反射光路上。

9.根据权利要求7所述的激光定点照射装置，其特征在于，还包括控制器，所述控制器用于根据转台转动角度控制所述旋转台旋转角度，根据转台转动角度和正方形边长值控制所述第三反射镜位移距离，使所述第三反射镜的反射光线定点射入所述第四反射镜的反射中心上；所述控制器还用于根据转台旋转角度和正方形边长值，控制延时装置移动，使激光脉冲光程差不变。

10.根据权利要求9所述的激光定点照射装置，其特征在于，所述控制器用于在转台旋转角度为θ时，控制所述旋转台旋转θ/2，使第四反射镜的反射光以45°角入射至所述第五反射镜。