[发明专利]一种微机电型可调光衰减器

权利要求书

1.一种微机电型可调光衰减器，包括TO管座、MEMS芯片、管帽和光纤准直器，MEMS芯片设置在TO管座上，TO管座与管帽连接，且在TO管座与管帽之间形成一个密闭空间，MEMS芯片位于所述密闭空间之内，管帽前端开设有窗口，窗口上设置有用于入光的透明窗片，光纤准直器设置在透明窗片的正前方；其特征在于，在窗口的四周设置了具有台阶部的支撑台，透明窗片设置在该支撑台上，且透明窗片靠近密封空间的一侧与台阶抵接。

2.如权利要求1所述的一种微机电型可调光衰减器，其特征在于，所述透明窗片为玻璃窗片。

3.如权利要求2所述的一种微机电型可调光衰减器，其特征在于，玻璃窗片通过光学胶粘接支撑台上。

4.如权利要求1所述的一种微机电型可调光衰减器，其特征在于，TO管座包括插针和金属台，插针包括第一插针和第二插针，其中，第一插针与金属台电性导通，第二插针通过金线与MEMS芯片的正极电性导通，MEMS芯片的负极通过金线与金属台电性导通。

5.如权利要求4所述的一种微机电型可调光衰减器，其特征在于，金线有提弧，提弧的最高处与MEMS芯片的正极或负极之间高度差记为h，则0.5mm≤h≤1mm。

6.如权利要求1或4所述的一种微机电型可调光衰减器，其特征在于，还包括玻璃管和金属转接环，玻璃管与管帽连接，且玻璃管的外径与管帽的外径相等，金属转接环同时将玻璃管和管帽封装在其内侧。

7.如权利要求6所述的一种微机电型可调光衰减器，其特征在于，金属转接环将整个管帽封装在其内侧，将玻璃管的至少三分之二部分封装在其内侧。

8.如权利要求7所述的一种微机电型可调光衰减器，其特征在于，还包括金属外封管和金属外封帽；TO管座、MEMS芯片、管帽、光纤准直器、玻璃管、金属转接环均位于金属外封管的内侧，金属外封管与金属外封帽匹配。