[发明专利]光检测器及放射线检测器

权利要求书

1.一种光检测器，具备：

基板，具有第1面及与上述第1面对置的第2面；及

多个像素，设置于上述基板，

各像素具备：

多个光检测单元，该多个光检测单元设置于上述基板的上述第1面，各光检测单元具有第1端子和与上述基板连接的第2端子，并且在从上述基板的上述第2面侧观看时，周围被设置于上述第2面的具有连续的闭曲线形状的第1开口部包围；

第1布线，设置于上述基板的上述第1面，与上述多个光检测单元各自的上述第1端子连接；

第1绝缘膜，覆盖上述基板的上述第2面、设置于上述基板的上述第2面并贯通上述基板且供上述第1布线的一部分露出的第2开口部的侧面、上述第1开口部的侧面及底面；

多个第1电极，设置于多个第3开口部的每个第3开口部，与上述基板的上述第2面连接，该多个第3开口部的每个第3开口部设置于上述第1绝缘膜，并供与上述基板的上述第2面中的上述光检测单元分别对应的区域的一部分露出；

第2电极，设置于上述基板的上述第2面侧，将上述多个第1电极连接；以及

遮光部件，被填充于上述第1开口部。

2.根据权利要求1所述的光检测器，还具备第3电极，该第3电极设置于上述第2开口部，与上述第1布线连接。

3.根据权利要求1或2所述的光检测器，上述遮光部件是黑色抗蚀剂。

4.根据权利要求1或2所述的光检测器，上述遮光部件是金属。

5.根据权利要求1所述的光检测器，上述基板具备n型基板及设置在上述n型基板上的p型外延层，上述光检测单元设置于上述p型外延层。

6.根据权利要求1所述的光检测器，上述像素排列为阵列状。

7.根据权利要求1所述的光检测器，上述光检测单元分别包括雪崩光电二极管。

8.根据权利要求1所述的光检测器，还具备：

第2绝缘膜，设置于上述基板的上述第1面，覆盖上述多个光检测单元及上述第1布线；以及

透明的支承体，设置在上述第2绝缘膜上与上述基板相反一侧，隔着粘接件与上述第2绝缘膜接合。

9.一种放射线检测器，具备：

闪烁器，将放射线变换为可见光；以及

接收通过上述闪烁器变换后的可见光的权利要求1所述的光检测器。