[发明专利]一种主动抑制测试光路抖动的装置及方法

权利要求书

1.一种主动抑制测试光路抖动的装置，包括控制计算机(1)、信标光源(2)、第一分光镜(3)、压电陶瓷快反镜(4)、抖动检测相机(5)和第二分光镜(6)，其特征在于：

所述压电陶瓷快反镜(4)、抖动检测相机(5)和第二分光镜(6)安装于测试光路入射处，测时光路测试光依次经过第二分光镜(6)和压电陶瓷快反镜(4)进入测试光路，再经过第一分光镜(3)到的测试光路出光端。信标光和测试光路光源采用分光镜耦合和分离。信标光源(2)、第一分光镜(3)安装于测试光路出光处；

所用信标光源(2)的出射光经过第一分光镜(3)耦合进测试光路，从测试光路的出光端沿测试光路的逆向传播到测试光路入光端，依次经过压电陶瓷快反镜(4)、第二分光镜(6)被抖动检测相机(5)捕获。

2.一种基于权利要求1所述主动抑制测试光路抖动的装置的光路抖动抑制方法，其特征在于以下步骤：

1)测量系统脱靶量计算与记录：使用控制计算机(1)，信标光源(2)配合抖动检测相机(5)和第一分光镜(3)、第二分光镜(6)实现在不影响光路的前提下实现对测试光路情况的测量和记录，控制计算机(1)根据脱靶量对压电陶瓷快反镜(4)进行控制抑制抖动，方便后续实验处理。脱靶量公式如下，其中i和j分别表示图像行坐标和列坐标，f(i,j)表示图像第i行第j列像素值，T(i,j)表示经过阈值处理后的图像在第i行第j列处像素值，Threhold表示计算阈值，M和N分别表示图像行数和列数，X,Y为质心行方向和列方向坐标，X_bia为行方向脱靶量，Cen_X为设置的行方向跟踪中心，Y_bia为行方向脱靶量，Cen_Y为设置的行方向跟踪中心；

X_bia＝Cen_X-X

Y_bia＝Cen_Y-Y；

2)对振动噪声的精准抑制：根据抖动检测相机(5)中信标光源(2)入射光的脱靶量，使用压电陶瓷快反镜(4)实现对测试光路中的振动噪声尤其是频段较高频段的噪声实现微弧度级别的抑制。