[发明专利]一种振镜矫正系统及方法

说明书

本发明提供了一种振镜矫正系统及方法，通过以下步骤实现：S1：保持振镜扫描系统不动，使振镜光轴沿x向和y向依次进行场内曝光，在x向和y向依次打点并形成光斑，光斑位置测量装置对振镜扫描系统产生的所有光斑的位置进行测量并记录；S2：将光斑位置测量装置测量得到的数据带入场内套刻模型得到当前振镜的场内误差参数；S3：计算获得到待补偿的振镜场内误差量；S4：将S3中得出的x向和y向的误差量带回到振镜控制器中进行重新打点，并对重新打出的光斑进行检测以及精度判断，如精度不满足，重复S1至S3，满足则停止，完成矫正。本发明提供的一种振镜矫正系统及方法矫正效果好。

技术领域

本发明属于扫描装置领域，涉及一种振镜矫正系统及方法。

背景技术

振镜在使用前以及安装完成之后均需要经过一定的矫正，然后得到一定的补偿量数据，从而在使用的时候能够更为精准的进行扫描。

现有的矫正方法中使用的是手动校正，如此就容易出现手动校正过程中的误差，校正的效果较差。

发明内容

本发明的目的在于提供一种振镜矫正系统及方法，旨在解决矫正效果差的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供了一种振镜矫正方法，通过以下步骤实现：

S1：保持振镜扫描系统不动，使振镜光轴沿x向和y向依次进行场内曝光，在x向和y向依次打点并形成光斑，光斑位置测量装置对振镜扫描系统产生的所有光斑的位置进行测量并记录；

S2：将光斑位置测量装置测量得到的数据带入场内套刻模型得到当前振镜的场内误差参数；

S3：计算获得到待补偿的振镜场内误差量；

S4：将S3中得出的x向和y向的误差量带回到振镜控制器中进行重新打点，并对重新打出的光斑进行检测以及精度判断，如精度不满足，重复S1至S3，满足则停止，完成矫正。

本发明进一步设置为，所述S2中的场内套刻模型如下：

其中，

——Δx、Δy：光斑在水平向实际成像位置与名义位置在x向和y向的偏差；

——x、y：光斑的名义位置；

——Tx、Ty：振镜场内平移；

——Mx、My：振镜场内倍率；

——Rx、Ry：振镜场内旋转；

测试中共测量n＝M×N个光斑，对于n个光斑，将(2-1)变换为矩阵形式：

利用最小二乘法拟合，得到当前振镜的场内误差Tx,Ty,Mx,My,Rx,Ry。

本发明进一步设置为，所述S3中的待补偿的振镜场内误差量如下，即振镜扫描系统的光轴在每个x,y位置处的补偿量为：

本发明进一步设置为，所述振镜扫描系统在x向和y向上每一个打点处均打若干个光斑，并对若干个光斑的位置数据取均值，用于S3中的计算。

本发明进一步设置为，所述S4后还包括以下步骤：

S5：保持振镜扫描系统的光轴的场内位置不变，振镜扫描系统在龙门架上进行x向运动，每步进一次振镜扫描系统曝光一次，并利用光斑位置测量装置测量单点单次振镜在龙门架零位坐标系下的位置x_i,j,y_i,j，其中i＝1,2,...,n为曝光标记的个数；