[发明专利]一种环保型六氟化硫/氮气混合气体分离回收装置及方法

权利要求书

1.一种环保型六氟化硫/氮气混合气体分离回收方法，其特征在于，基于一种环保型六氟化硫/氮气混合气体分离回收装置，所述环保型六氟化硫/氮气混合气体分离回收装置，包括压力监测模块、三通转换阀、直通阀组、增压阀组、高真空阀组、混合气体分离装置、排空装置、化学处理装置和压缩回收装置；

六氟化硫/氮气混合气体气室通过压力监测模块连接三通转换阀的入口，三通转换阀的第一出口通过增压阀组连接混合气体分离装置的入口，三通转换阀的第二出口通过直通阀组连接混合气体分离装置的入口，三通转换阀的第三出口通过高真空阀组连接混合气体分离装置的入口；混合气体分离装置的出口连接双通转换阀；双通转换阀的第一出口通过真空泵连接排空装置；双通转换阀的第二出口依次连接化学处理装置和压缩回收装置；

压力监测模块(3)为气压表或气压传感器，六氟化硫/氮气混合气体气室通过管路连接三通转换阀(4)的入口；混合气体气室(1)与三通转换阀(4)的入口之间的管路上设有第一电磁阀(2)和气压表；增压阀组包括串联的无油增压泵(5)和第二电磁阀(6)；直通阀组包括串联的减压阀(7)和第三电磁阀(8)；高真空阀组包括串联的高真空泵(9)和第四电磁阀(10)；混合气体分离装置包括串联的第五电磁阀(11)和分离装置(12)；排空装置及化学处理装置(16)通过双通转换阀(13)与分离装置(12)连接；排空装置包括真空泵(14)和排空装置(15)；压缩回收装置包括串联的第六电磁阀(17)、压缩机(18)和存储装置(19)；分离装置(12)填充有用于吸附氮气的分子筛吸附材料；化学处理装置(16)用于过滤SF₆分解气体；

所述分离回收方法包括：

首先，根据压力监测模块监测到的混合气体压力，通过三通转换阀选择不同的气路，对不同压力的混合气体进行不同的处理：当混合气体压力P3bar时，选择直通阀组；通过直通阀组将混合气体减压后送入分离装置；当压力0.1barP3bar时，选择增压阀组，将混合气体增压后，送进分离装置；当压力P0.1bar时，用三通转换阀选择高真空阀组，对六氟化硫/氮气混合气体气室进行抽真空处理，将六氟化硫/氮气混合气体气室抽真空至10^-4～10^-3mbar，然后将混合气体送入分离装置；在分离装置内，混合气体中的N₂分量被装置内的分子筛材料吸附过滤，然后经过真空泵减压后解吸排放，而SF₆分量则无吸附地通过分离装置；然后分离后的SF₆气体通过化学处理装置；化学处理装置对SF₆气体中可能存在的分解气体进行过滤处理，最后过滤后的SF₆通过压缩回收装置压缩存储。