[发明专利]一种一维微位移台

权利要求书

1.一种一维微位移台，其特征在于：包括底框，所述底框内设置有移动台，移动台与底框之间设置有驱动装置，所述驱动装置包括两组驱动器，每组驱动器包括两个串联的菱形陶瓷驱动器，并且其中一个菱形陶瓷驱动器的一端与底框连接，另一个菱形陶瓷驱动器的一端与移动台连接，所述底框内还设置有微位移传感器，所述菱形陶瓷驱动器包括两个相对设置的第一连接部和两个相对设置的第二连接部，所述第一连接部和第二连接部之间设置有连接臂，所述连接臂的一端通过柔性铰链与第一连接部连接，连接臂的另一端通过柔性铰链与所述第二连接部连接，两个第二连接部之间设置有压电陶瓷驱动器，所述压电陶瓷驱动器包括安装盒，所述安装盒内设置有压电陶瓷、第一驱动臂和第二驱动臂，所述压电陶瓷包括位于压电陶瓷顶端的连接块，所述连接块的顶端与第一驱动臂的右端接触，所述第一驱动臂的右端还通过柔性铰链与安装盒连接，第一驱动臂的左端与第二驱动臂的左端接触，所述第二驱动臂的左端还通过柔性铰链与安装盒连接，所述第二驱动臂的右端设置有输出杆，所述输出杆的顶端穿过安装盒的顶壁并与第二连接部连接。

2.根据权利要求1所述的一维微位移台，其特征在于：所述微位移传感器为电容式微位移传感器，微位移传感器包括与移动台连接的第一极板和与底框连接的第二极板。

3.根据权利要求1所述的一维微位移台，其特征在于：所述移动台的表面设置有连接座。

4.根据权利要求1所述的一维微位移台，其特征在于：所述第二连接部包括安装座，所述安装座的表面固定设置有安装块，所述安装块与压电陶瓷驱动器连接。

5.根据权利要求1所述的一维微位移台，其特征在于：所述底框的底面上设置有滑轨，所述移动台可滑动地设置于所述滑轨上。