[发明专利]溅射镀膜机与溅射镀膜方法有效
| 申请号： | 201710818909.1 | 申请日： | 2017-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN107604326B | 公开（公告）日： | 2019-03-12 |
| 发明（设计）人： | 谭伟;姜亮 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/04;H01L51/56 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂;闻盼盼 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 掩膜片 溅射镀膜机 溅射镀膜 承载装置 拉紧 展平 拉紧装置 绑定 镀膜 紧固 可拆卸连接 凹凸结构 镀膜成本 固定的 掩膜板 再加工 侧滑 拆装 外框 张网 生产成本 保养 | ||
1.一种溅射镀膜机，其特征在于，包括：
轨道(10)；
设于所述轨道(10)上并可沿所述轨道(10)移动的承载装置(20)，所述承载装置(20)包括框形基板(21)、从所述框形基板(21)的内侧与所述框形基板(21)相连的框形凸台(22)、及位于所述框形凸台(22)内侧的框形开口(23)；所述框形基板(21)上设有分布于所述框形凸台(22)四周的数个沟槽(215)；
靶材(30)，与所述框形开口(23)相对应；
与所述数个沟槽(215)的数量相对应的数个紧固拉紧装置(40)，所述紧固拉紧装置(40)包括可沿所述沟槽(215)移动的滑块(41)、穿过所述滑块(41)内的螺纹孔与其螺纹连接的螺杆(42)、与所述滑块(41)的上表面相配合的压片(43)、及数个螺丝(44)；所述螺杆(42)的一端抵靠于所述框形凸台(22)的外表面上；所述滑块(41)的上表面的形状与所述压片(43)的下表面的形状相配合；所述数个螺丝(44)用于将所述压片(43)与所述滑块(41)固定在一起；
数个压条(50)，所述压条(50)具有与所述框形凸台(22)的上表面相配合的形状，其用于在掩膜片(60)被拉紧展平后与所述框形凸台(22)配合，将掩膜片(60)固定于所述压条(50)与框形凸台(22)之间。
2.如权利要求1所述的溅射镀膜机，其特征在于，所述沟槽(215)垂直于所述框形凸台(22)的外表面，所述沟槽(215)从所述框形凸台(22)的外表面起始并朝远离所述框形凸台(22)的方向延伸；
所述框形凸台(22)的外表面设有限制机构，所述螺杆(42)的一端固定于该限制机构内，所述限制机构限制所述螺杆(42)的运动方式，使所述螺杆(42)可以转动但不能沿沟槽(215)移动。
3.如权利要求1所述的溅射镀膜机，其特征在于，所述承载装置(20)还包括与所述框形基板(21)底面相连的凸块(25)，所述凸块(25)的形状与所述轨道(10)的形状相配合；
所述框形凸台(22)的顶表面高于所述滑块(41)的上表面。
4.如权利要求1所述的溅射镀膜机，其特征在于，所述框形凸台(22)的上表面具有靠近所述框形开口(23)一侧的框形凸起(221)，所述压条(50)具有与所述框形凸起(221)相配合的形状；
所述滑块(41)的上表面设有第一凹槽(411)和第一凸起(412)，所述压片(43)的下表面上设有分别与所述第一凹槽(411)和第一凸起(412)相对应的第二凸起(431)和第二凹槽(432)。
5.如权利要求1所述的溅射镀膜机，其特征在于，所述螺杆(42)远离所述框形凸台(22)的一端设有手柄(425)。
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