[发明专利]从多维变量推算生产力、排程优先级、优化配置的方法

权利要求书

1.一种统计多维变量而推算生产力的方法，包含：

提供多个机台，每个该机台记录有多个登录数据；

转译每个该登录数据，而得到多个变量与多个参数，每个该变量与每个该参数分别对应每个该机台与每个该登录数据；

其中，多个该变量包含一测试时间(test time)、一晶圆图数据时间(wafer maptime)、与一批次处理(lot process)时间；

区别每个变量，使得每个该变量成为一具有合理值的合用变量、一具有异常值的舍弃变量、与一可能是合用变量或舍弃变量的存疑变量其中之一者；

统计多个该合用变量，而得到多个统计合用变量；

将多个该统计合用变量，组成一统计库；

经由该统计库、以及依据各生产需求所设定的单批晶圆的总片数，计算多个该机台中至少一个该机台的一生产效率；以及

经由该生产效率与一商业时间，推算出该生产力；

其中，该商业时间是一天中的至少一个该机台能够真正用于投产的时间。

2.如权利要求1所述的统计多维变量而推算生产力的方法，其中多个该参数包含一机台(equipment)的种类(type)与型号(mode)、一载具(probe card)的类别(model)、与一产品(product)的规格(configuration)以及所涉及的工作站(step)。

3.如权利要求1所述的统计多维变量而推算生产力的方法，其中区别每个该存疑变量，使得每个该存疑变量成为该统计合用变量，或是成为该舍弃变量。

4.如权利要求1所述的统计多维变量而推算生产力的方法，其中将多个该统计合用变量组成该统计库，包含统计多个该合用变量而得到一集合特征。

5.如权利要求1所述的统计多维变量而推算生产力的方法，其中该生产力＝该商业时间/该生产效率。

6.一种统计多维变量而排程优先级的方法，包含：

提供多个机台，每个该机台记录有多个登录数据；

转译每个该登录数据，而得到多个变量与多个参数，每个该变量与每个该参数分别对应每个该机台与每个该登录数据；

其中，多个该变量包含一测试时间、一晶圆图数据时间、与一批次处理时间；

区别每个变量，使得每个该变量成为一具有合理值的合用变量、一具有异常值的舍弃变量、与一可能是合用变量或舍弃变量的存疑变量其中之一者；

统计多个该合用变量，而得到多个统计合用变量；

将多个该统计合用变量，组成一统计库；

依据该统计库提供多个临界比值；以及

判别多个该临界比值中具有相对较小值的一者，而成为排程上具有相对较高的优先级。

7.如权利要求6所述的统计多维变量而排程优先级的方法，其中该变量与该参数间彼此相倚。

8.如权利要求6所述的统计多维变量而排程优先级的方法，其中多个该参数包含一机台的种类与型号、一载具的类别、与一产品的规格以及所涉及的工作站。

9.如权利要求6所述的统计多维变量而排程优先级的方法，其中判别多个该临界比值中的最小者，在排程上具有最高的优先级。