[发明专利]一种提高硅原料烘干后洁净度的方法在审
申请号: | 201710822867.9 | 申请日: | 2017-09-13 |
公开(公告)号: | CN109487343A | 公开(公告)日: | 2019-03-19 |
发明(设计)人: | 马丽琴;梁永生;罗向玉;冉瑞应;李迎春;马学贵;韩欢 | 申请(专利权)人: | 银川隆基硅材料有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B29/06 |
代理公司: | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人: | 钟欢 |
地址: | 750021 宁夏回族自治区银*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅原料 洁净度 烘干 负压条件 原料清洗 料篮 沥水 保温设施 二次污染 高温干燥 沥水过程 热风烘箱 水分沥干 运行过程 放入 衰减 水浴 清洗 | ||
1.一种提高硅原料烘干后洁净度的方法,其特征在于,包括步骤:先将硅原料放入料篮中进行水浴清洗,然后进行沥水,最后在保护气氛中或负压条件下进行烘干。
2.如权利要求1所述的一种提高硅原料烘干后洁净度的方法,其特征在于,所述沥水具体是将料篮放入沥水槽进行旋转沥水,所述旋转速度为60r/min,沥水持续时间为20~30s。
3.如权利要求2所述的一种提高硅原料烘干后洁净度的方法,其特征在于,料篮中的硅原料在沥水过程中还通过红外保温设备进行温度补偿。
4.如权利要求1所述的一种提高硅原料烘干后洁净度的方法,其特征在于,沥水完成后,将料篮和其中的硅原料送入真空烘干箱中进行烘干处理。
5.如权利要求4所述的一种提高硅原料烘干后洁净度的方法,其特征在于,通过机械臂将所述料篮和硅原料送入真空烘干箱中。
6.如权利要求1所述的一种提高硅原料烘干后洁净度的方法,其特征在于,沥水完成后,将料篮和其中的硅原料在惰性气氛中进行烘干处理。
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