[发明专利]一种提高硅原料烘干后洁净度的方法在审

专利信息
申请号: 201710822867.9 申请日: 2017-09-13
公开(公告)号: CN109487343A 公开(公告)日: 2019-03-19
发明(设计)人: 马丽琴;梁永生;罗向玉;冉瑞应;李迎春;马学贵;韩欢 申请(专利权)人: 银川隆基硅材料有限公司
主分类号: C30B35/00 分类号: C30B35/00;C30B29/06
代理公司: 西安弘理专利事务所 61214 代理人: 钟欢
地址: 750021 宁夏回族自治区银*** 国省代码: 宁夏;64
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摘要:
搜索关键词: 硅原料 洁净度 烘干 负压条件 原料清洗 料篮 沥水 保温设施 二次污染 高温干燥 沥水过程 热风烘箱 水分沥干 运行过程 放入 衰减 水浴 清洗
【权利要求书】:

1.一种提高硅原料烘干后洁净度的方法,其特征在于,包括步骤:先将硅原料放入料篮中进行水浴清洗,然后进行沥水,最后在保护气氛中或负压条件下进行烘干。

2.如权利要求1所述的一种提高硅原料烘干后洁净度的方法,其特征在于,所述沥水具体是将料篮放入沥水槽进行旋转沥水,所述旋转速度为60r/min,沥水持续时间为20~30s。

3.如权利要求2所述的一种提高硅原料烘干后洁净度的方法,其特征在于,料篮中的硅原料在沥水过程中还通过红外保温设备进行温度补偿。

4.如权利要求1所述的一种提高硅原料烘干后洁净度的方法,其特征在于,沥水完成后,将料篮和其中的硅原料送入真空烘干箱中进行烘干处理。

5.如权利要求4所述的一种提高硅原料烘干后洁净度的方法,其特征在于,通过机械臂将所述料篮和硅原料送入真空烘干箱中。

6.如权利要求1所述的一种提高硅原料烘干后洁净度的方法,其特征在于,沥水完成后,将料篮和其中的硅原料在惰性气氛中进行烘干处理。

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