[发明专利]一种多晶硅生产设备的清洗装置

说明书

技术领域

本发明涉及多晶硅生产设备技术领域，具体为一种多晶硅生产设备的清洗装置。

背景技术

多晶硅，是单质硅的一种形态，熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅。在多晶硅生产过程中，油分子、灰尘等污垢，对多晶硅的危害十分严重，实际证明，整个工艺系统几ppm的油含量就可能造成多晶硅反应速度减慢，产量降低，甚至硅反应停止，因此，在设备清洗过程中，对污垢进行清洗十分必要。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种多晶硅生产设备的清洗装置，具备清洗效果好的优点，解决了现有设备清洗效果不佳的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种多晶硅生产设备的清洗装置，包括清洗槽，所述清洗槽底端的外侧固定连接有圆环，所述圆环的中部贯穿有放置板，所述放置板的上表面固定连接有超声波装置，所述放置板的底部固定连接有固定杆，所述固定杆的底端固定连接有底座，所述底座的两端均固定连接有纵向支撑架，所述纵向支撑架的顶端固定连接有固定架，所述固定架的中部固定连接有搅拌电机，所述搅拌电机的输出轴固定连接有搅拌转轴，所述搅拌转轴的表面固定连接有连接杆，所述连接杆的一端固定连接有清洁刷，所述放置板底端的中部固定连接有固定块，所述固定块的表面固定连接有电机，所述底座的中部设置有旋转盘，所述旋转盘的上表面固定连接有固定台，所述旋转盘的中心固定连接有转轴，所述电机的输出轴固定连接有贯穿于固定台的转轴，所述旋转盘的外侧通过连杆固定连接有圆环。

优选的，所述搅拌电机的外侧固定连接有位于固定架顶端的保护罩。

优选的，所述固定杆的数量为两个，两个固定杆分别位于放置板底部的两端。

优选的，所述超声波装置包括超声波发生器，所述超声波发生器的输出端固定连接有超声波转换器，所述超声波转换器的输出端固定连接有超声波振子。

优选的，所述超声波振子位于清洗槽底端的中部。

优选的，所述清洁刷的数量为两个，两个刮清洁刷分别活动连接在清洗槽内部的一侧。

(三)有益效果

与现有技术相比，本发明提供了一种多晶硅生产设备的清洗装置，具备以下有益效果：

该多晶硅生产设备的清洗装置，通过设置超声波装置，超声波振子对清洗槽内的清洗溶剂产生强烈震动，加大溶剂与生产设备的接触力度，对于生产设备结构较多的死角起到较好的清洗效果，避免使用酸溶剂清洗对生产设备造成腐蚀，通过设置旋转盘，使得旋转盘带动清洗槽转动，加快槽内清洗溶剂的流动，可以把生产设备清洗的更干净，通过设置清洁刷，不仅可以提高对生产设备的清洗效率，还能提升清洗的效果。

附图说明

图1为本发明结构示意图；

图2为本发明超声波装置结构示意图。

图中：1清洗槽、2纵向支撑架、3圆环、4放置板、5固定架、6搅拌电机、7保护罩、8搅拌转轴、9连接杆、10清洁刷、11固定杆、12超声波装置、121超声波振子、122超声波转换器、123超声波发生器、13固定块、14 电机、15固定台、16旋转盘、17转轴、18连杆、19底座。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。