[发明专利]一种显示屏用酸性蚀刻液

权利要求书

1.一种显示屏用酸性蚀刻液，其特征在于，其是由如下重量百分比的原料组成：硝酸23-25％、氢氟酸30-50％、磷酸盐5-14％、醋酸5-25％、含氟化合物0.01-3％、三氯化铁1.2-1.8％、氟化铵8.5-9.4％、表面活性剂8-12％、添加剂5-8％和去离子水。

2.根据权利要求1所述的一种显示屏用酸性蚀刻液，其特征在于：所述含氟化合物为选自由氟化铵、氟化钠、氟化磷酸、氟化氢铵、二氟氢化钠及二氟化磷酸所组成的组中的一种或两种以上。

3.根据权利要求1所述的所述一种显示屏用酸性蚀刻液，其特征在于：所述磷酸盐为选自由磷酸氢二铵及磷酸二氢钾所组成的组中的一种或两种以上。

4.根据权利要求1所述的一种显示屏用酸性蚀刻液，其特征在于：所述添加剂为聚乙二醇单全氟壬烯基醚、全氟己基磺酸聚甘油酯、辛胺、聚甘油全氟壬烯基醚、聚乙二醇全氟壬烯基甲基醚、全氟己基磺酸聚乙二醇酯中的一种或几种。

5.根据权利要求1所述的一种显示屏用酸性蚀刻液，其特征在于：所述表面活性剂为N-烷基葡糖酰胺、聚异丁烯/马来酸酐衍生物、N-芳氧基多羟基-脂肪酸酰胺中的一种或几种混合物。