[发明专利]一种用于TFT‑LCD显示屏的光刻胶剥离剥离液在审

专利信息
申请号: 201710825424.5 申请日: 2017-09-14
公开(公告)号: CN107608181A 公开(公告)日: 2018-01-19
发明(设计)人: 白航空 申请(专利权)人: 合肥惠科金扬科技有限公司
主分类号: G03F7/42 分类号: G03F7/42
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 230000 安徽省合*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 tft lcd 显示屏 光刻 剥离
【权利要求书】:

1.一种用于TFT-LCD显示屏的光刻胶剥离剥离液,其特征在于,包括以下重量百分比的原料:有机胺化合物15-18%、丙烯酸酯类共聚物26-32%、表面活性剂9-16%、络合剂5-8%、N,N-二甲基丙酰胺6-9%、腐蚀抑制剂4-6%、有机溶剂60-75%和添加剂0.2-10%。

2.根据权利要求1所述的一种用于TFT-LCD显示屏的光刻胶剥离剥离液,其特征在于:所述有机胺化合物选自乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、N-甲基单乙醇胺和N-甲基二乙醇胺中的至少两种。

3.根据权利要求1所述的一种用于TFT-LCD显示屏的光刻胶剥离剥离液,其特征在于:所述有机溶剂由二乙二醇甲醚和N-甲基甲酰胺混合而成。

4.根据权利要求1所述的一种用于TFT-LCD显示屏的光刻胶剥离剥离液,其特征在于:所述添加剂选自环己醇六磷酸脂、氨基酸的碱盐、苯并三氮唑、1-羟基苯并三氮唑、3-羟基甲酯-1,2,4-三氮唑和二巯基噻二唑二钠盐中的至少一种。

5.根据权利要求1所述的一种用于TFT-LCD显示屏的光刻胶剥离剥离液,其特征在于:所述表面活性剂为烷基苯磺酸钠、烷基硫酸钠、烷基聚氧乙烯醚硫酸钠、脂肪酸钠、烷基聚氧乙烯醚羧酸钠、烷基磺酸钠的一种或几种。

6.根据权利要求1所述的一种用于TFT-LCD显示屏的光刻胶剥离剥离液,其特征在于:所述所述络合剂为二乙烯三胺五乙酸与羟乙基乙烯二胺三乙酸按1:3的质量比混合而成。

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