[发明专利]一种双组份选择性钛腐蚀液及钛腐蚀方法有效
| 申请号： | 201710825471.X | 申请日： | 2017-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN107604362B | 公开（公告）日： | 2019-07-26 |
| 发明（设计）人： | 李森虎;殷福华;徐辉;赵文虎;顾玲燕 | 申请（专利权）人： | 江阴江化微电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/38 | 分类号： | C23F1/38 |
| 代理公司： | 无锡坚恒专利代理事务所(普通合伙) 32348 | 代理人： | 杜兴 |
| 地址： | 214400 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 腐蚀液 强碱弱酸盐 双组份 氢氧根 过氧化氢稳定剂 季铵氢氧化物 蚀刻 非还原性酸 过氧化氢 可溶性碱 均匀性 侧蚀 铝层 弱酸 铜层 腐蚀 侵蚀 | ||
【权利要求书】：
1.一种双组份选择性钛腐蚀液，其特征在于，由A组分和B组分在使用前混合而成；A组分的主要组成为碱的水溶液，所述碱为可溶性碱和季铵氢氧化物中的至少一种；B组分包含过氧化氢、过氧化氢稳定剂和水；A组分中还包含强碱弱酸盐，强碱弱酸盐对应的弱酸为非还原性酸；
碱的水溶液中碱的重量百分比为1～10%，B组分中过氧化氢的重量百分比为28～35%；A组分与B组分的混合比例为（0.5～0.9）：1；A组分中碱与强碱弱酸盐的摩尔比为1：（0.1～0.5）；
强碱弱酸盐由铝酸盐和C7～C10的二羟基苯甲酸盐组合而成，铝酸盐和C7～C10的二羟基苯甲酸盐的摩尔比为1：（1.5～3）。
2.根据权利要求1所述的双组份选择性钛腐蚀液，其特征在于，A组分和/或B组分中还含有表面活性剂。
3.根据权利要求2所述的双组份选择性钛腐蚀液，其特征在于，表面活性剂为非离子表面活性剂。
4.根据权利要求3所述的双组份选择性钛腐蚀液，其特征在于，非离子表面活性剂为硅醇类润湿剂。
5.根据权利要求4所述的双组份选择性钛腐蚀液，其特征在于，过氧化氢稳定剂为磷酸酯盐类稳定剂。
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