[发明专利]一种多晶硅检测用测试台

说明书

技术领域

本发明涉及多晶硅设备技术领域，具体为一种多晶硅检测用测试台。

背景技术

为适应大规模集成电路的迅猛发展，特别是计算机芯片内存的发展，越来越多的使用到了大直径、高纯度、均匀度更高的多晶硅材料，目前的多晶硅测量仪器造价昂贵，且测试台空间较小，探头转动角度较小，只能测试较小规格的多晶硅或者较大规格多晶硅的一小部分，若需要测量大尺寸的多晶硅，只能更换成本较高的大型设备，给测量工作带来极大的不便，降低了工作效率，不能快速、准确的测量多晶硅的质量，且多晶体质地比较脆，检测过程中容易被碰撞，加大了生产成本，影响了产品质量。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种多晶硅检测用测试台，具备更全面的测量多晶硅等优点，解决了现有设备测量范围小的问题。

(二)技术方案

为实现上述更全面的测量多晶硅目的，本发明提供如下技术方案：一种多晶硅检测用测试台，包括底座，所述底座的顶部与第一气缸的底部固定连接，所述第一气缸的输出端固定连接有第一连接杆，所述第一连接杆顶部的一端活动连接有方向转换装置，所述方向转换装置包括第一转轴，所述第一转轴与第一连接杆的顶部活动连接，所述第一转轴与第一转板的一端活动连接，所述第一转板的一端通过第一转轴与第一连接杆活动连接，所述第一转板的另一端活动安装有第二转轴，所述第二转板的一端通过第二转轴与第一转板活动连接，所述方向转换装置的一端固定连接有第二连接杆，所述第二连接杆的一端固定连接有铰接部，所述铰接部的一端与环箍固定连接，所述环箍的内部活动安装有探头，所述底座的一侧设置有工作台，所述工作台顶部的内部开设有滑槽，所述滑槽的内部活动安装有滑块，所述滑块的顶部固定安装有伸缩套杆，所述伸缩套杆的底部固定连接有支撑台，所述支撑台的上表面与电机的底部固定连接，所述电机的输出轴与第三转轴的一端固定连接，所述第三转轴的另一端固定连接有夹持装置。

优选的，所述第一转板与第二转板的规格相同。

优选的，所述环箍开口处设有翻边，所述翻边上设有供螺栓穿过的螺栓孔。

优选的，所述滑块的数量为两个，所述滑块均匀的分布在滑槽内部的两端。

优选的，所述夹持装置包括第二气缸，所述第三转轴的底部与第二气缸的顶部固定连接，所述第二气缸的输出端固定连接有气缸活塞杆，所述第二气缸的两侧均固定安装有支撑板，所述支撑板的一端活动连接有机械爪，所述气缸活塞杆的底部与驱动杆的一端活动连接，所述驱动杆的另一端与机械爪的中部活动连接。

优选的，所述气缸活塞杆伸缩在第二气缸内，且气缸活塞杆位于第二气缸内的一端设有端头。

优选的，所述机械爪的数量为两个，所述机械爪底端的内壁处设置有橡胶垫。

(三)有益效果

与现有技术相比，本发明提供了一种多晶硅检测用测试台，具备以下有益效果：

1、该多晶硅检测用测试台，通过设置方向转换装置，利用第一转轴和第二转轴转动带动第一转板和第二转板可180度转动，更全方位的转动探头，更全方位的检测多晶硅材料，可以检测不同大小的多晶硅，通过设置铰接部和环箍，达到更牢固的固定住探头的效果，利用第一气缸工作达到上下调节探头高度的效果，达到更准确的检测多晶硅的目的。

2、该多晶硅检测用测试台，通过设置夹持装置和电机，电机工作带动夹持装置转动，达到旋转多晶硅的效果，更彻底仔细的检测多晶硅，通过第二气缸带动驱动杆的运动，使得机械爪达到松和抓的目的，达到方便快捷抓取和放开多晶硅的效果，夹紧并保护多晶硅不被碰坏，适用于不同规格的多晶硅，使多晶硅被夹持在空中可旋转移动，通过设置滑槽和滑块，达到左右调节夹持装置的效果，方便夹持装置移动多晶硅和探头检测多晶硅。

附图说明

图1为本发明结构示意图；

图2为本发明夹持装置结构示意图。

图中：1底座、2第一气缸、3第一连接杆、4方向转换装置、401第一转轴、402第一转板、403第二转轴、404第二转板、5第二连接杆、6铰接部、 7环箍、8探头、9工作台、10滑槽、11滑块、12伸缩套杆、13支撑台、14 电机、15第三转轴、16夹持装置、1601第二气缸、1602气缸活塞杆、1603 支撑板、1604机械爪、1605驱动杆、1606橡胶垫、17翻边。

具体实施方式