[发明专利]锭料的切断装置及锭料的切断装置使用的载荷检测装置

说明书

本发明提供锭料的切断装置及锭料的切断装置使用的载荷检测装置，在用多线锯将锭料切断的锭料切断装置中，通过掌握锭料中的线材的新线侧和旧线侧的切断状态而将线材的切断防患于未然。用多根张紧的线材(3)切断锭料(52)的锭料切断装置(1)中，载荷传感器(S11～S22)设于锭料中的新线侧(52n)和旧线侧(52o)，用该新线侧和旧线侧的载荷传感器计测作用于锭料的所述新线侧和所述旧线侧的载荷。在计测该载荷的情况下，例如，算出绕线材的行进方向即X轴的力矩中心(COP)，在与锭料的重心(G)的偏差为基准值以上时，经由控制部进行用于线材更换的报知、线材的传送速度的控制、锭料的按压速度的控制等。

技术领域

本发明涉及将硅锭料等较薄地切断的锭料的切断装置，更详细而言，涉及使用线锯切断锭料的锭料的切断装置。

背景技术

以往，作为从硅锭料切出硅晶片的切断装置，使用了线锯的锭料的切断装置已为人们所知(专利文献1)。关于该使用了线锯的锭料的切断装置，使用图11进行说明。

在图11中，附图标记9是钢丝，在其表面附着有切削用金刚石。该钢丝9从抽出用线轴91被抽出，在包含左右一对主辊92的多个主辊92上每预定间距(250μm)绕圈之后，由回收用线轴93回收。而且，附图标记94是硅锭料，经由粘结剂而安装于切片台95，使用升降装置96而沿上下方向移动。

在使用这样的装置从硅锭料94切出薄的硅晶片的情况下，从抽出用线轴91抽出新的线材9，使左右一对主辊92绕圈而使线材9行进。并且，在线材9以一定速度行进的状态下将锭料94按压于多根线材9的表面，每隔预定间距将锭料94切断。此时，例如，将线材9抽出约800米左右，在此处暂时使线材9停止，然后使该线材9向回路方向行进。在使线材9向该回路方向行进时，一边使线材9返回约780米左右，一边将锭料94切断，在此处再次使主辊92停止而使线材9向去路方向行进。以下，同样使线材9向去路方向和回路方向行进，将锭料94切断。并且，这样将新的线材9从抽出用线轴91抽出去路与回路的行进距离的差量(约20米)来将锭料94切断。

专利文献

专利文献1：日本特开2014-96561号公报

发明内容

发明要解决的课题

然而，在这样使用线锯将锭料切断的情况下，存在如下的问题。

即，在使用钢丝将锭料切断的情况下，通常线材与锭料接触的距离越长，则切削用金刚石越会从该表面剥落，切削能力下降。因此，在使用这样的线材将锭料切断时，如图5所示，在锭料的被供给新的线材的一侧(以下，称为“新线侧”)，由于在线材的表面附着有较多的切削用金刚石而切削槽变深，另一方面，在线材被回收的一侧(以下，称为“旧线侧”)由于切削用金刚石剥落而切削槽变浅。并且，在这样旧线侧的切削槽变浅的状态下按压锭料时，在旧线侧线材较大地挠曲，因此存在线材被切断的问题。

因此，本发明目的是在利用线材将锭料切断的锭料切断装置中，提供一种通过掌握锭料中的线材的新线侧和旧线侧的切断状态而将线材的切断防患于未然的锭料切断装置。

用于解决课题的方案

即，本发明为了解决上述课题，提供一种锭料切断装置，使锭料向在一对辊之间绕多圈的线材按压而将锭料切断，所述锭料切断装置设有计测单元，该计测单元计测作用于向所述锭料供给新的线材的新线侧和回收旧的线材的旧线侧的锭料上的载荷或者计测线材的挠曲量。

另外，使用安装于保持锭料的切片台侧的载荷传感器来构成所述计测单元，检测所述锭料中的供给新的线材的新线侧和回收旧的线材的旧线侧的沿锭料的按压方向的载荷。

另外，使用安装于保持锭料的切片台侧的载荷传感器来构成所述计测单元，检测所述锭料中的供给新的线材的新线侧和回收旧的线材的旧线侧的沿线材的行进方向的载荷。