[发明专利]同轴探针卡装置

权利要求书

1.一种同轴探针卡装置，其特征在于，包含：

一基板，具有一穿孔；

多个探针座，设置于所述基板上且以所述穿孔为中心而环绕所述穿孔呈辐射状配置，各所述探针座具有一探针槽，所述探针槽相对于所述基板的表面倾斜且朝所述穿孔的方向延伸；及

多个探针，个别设置于各所述探针座的探针槽中，各探针分别包含一探针本体，所述探针本体其由外而内依序包含同轴设置的一外导体、一绝缘层以及一内导体，所述外导体与所述内导体之间藉由所述绝缘层而彼此绝缘隔离，所述探针本体部分穿过所述基板的所述穿孔。

2.如权利要求1所述的同轴探针卡装置，其特征在于，各所述探针的长度彼此相同。

3.如权利要求2所述的同轴探针卡装置，其特征在于，各所述探针具有一第一区段与一第二区段，所述第一区段设置于所述探针槽中，所述第二区段相对所述第一区段弯曲且穿过所述穿孔。

4.如权利要求3所述的同轴探针卡装置，其特征在于，所述多个探针区分为一第一群组与一第二群组，所述第一群组的所述多个探针与所述第二群组的所述多个探针彼此呈镜像设置。

5.如权利要求4所述的同轴探针卡装置，其特征在于，所述第一群组的所述多个探针的第二区段的尖端呈直线排列且位于同一水平面上，各所述第二群组的所述多个探针的第二区段的尖端亦呈直线排列且位于同一水平面上。

6.如权利要求5所述的同轴探针卡装置，其特征在于，所述第一群组的所述多个探针的第二区段的尖端所构成的直线平行于所述第二群组的所述多个探针的第二区段的尖端所构成的直线。

7.如权利要求3所述的同轴探针卡装置，其特征在于，任三所述探针的所述第二区段彼此不共平面。

8.如权利要求1所述的同轴探针卡装置，其特征在于，各所述探针分别包含一探测件，所述探针本体具有一第一区段及一第二区段，所述探针本体的所述第一区段固定于所述探针座，所述探测件固定于所述探针本体的所述第二区段，所述探针本体的所述第一区段与所述第二区段之间具有一弯折角，所述多个探针中至少两个探针的弯折角不同；

所述同轴探针卡装置更包含一限位组件，穿套固定于所述多个探针的所述探针本体，所述限位组件包含一穿置部，所述多个探针的所述探针本体的所述第二区段穿置于所述穿置部内，所述探测件穿出所述穿置部，而所述穿置部内与所述探针本体之间设置黏胶以固定结合所述探针本体及所述限位组件。

9.如权利要求8所述的同轴探针卡装置，其特征在于，所述穿置部内的黏胶覆盖所述第二区段或者所述穿置部内的黏胶覆盖的范围由所述第一区段延伸至所述第二区段。

10.如权利要求8所述的同轴探针卡装置，其特征在于，所述限位组件更包含一第一构件及一第二构件，所述第一构件与所述第二构件对合界定出所述穿置部，所述多个探针的所述探针本体的局部位于所述第一构件与所述第二构件之间。

11.如权利要求8所述的同轴探针卡装置，其特征在于，更包含多个延伸臂，各所述延伸臂分别具有一套槽，各所述延伸臂的一端固定于各所述探针座，并以所述套槽套覆所述探针本体，且各所述延伸臂的另一端延伸至所述穿孔的范围内。

12.如权利要求8所述的同轴探针卡装置，其特征在于，更包含一基板连接组件，所述基板连接组件连接所述限位组件及所述基板。

13.如权利要求8所述的同轴探针卡装置，其特征在于，各所述探针本体的所述第二区段彼此平行。

14.如权利要求10所述的同轴探针卡装置，其特征在于，所述限位组件的所述第二构件由吸波材料制成。