[发明专利]一种用于高精度标准镜的无应力装夹柔性装置

权利要求书

1.一种用于高精度标准镜的无应力装夹柔性装置，其特征在于：包括柔性框(3)、压圈(4)和标准镜镜框(2)，所述柔性框(3)设置有多条半径相同的圆弧形狭缝(31)，所述狭缝(31)将柔性框分为内圈(32)和外圈(33)，所述内圈(32)和外圈(33)通过挠性构件(34)相连；

所述柔性框内圈侧面设置有多个注胶孔(35)；标准镜(1)通过注胶孔(35)中的胶粘剂与柔性框内圈固定；

所述标准镜镜框(2)为底部开有圆孔(21)的桶状部件，所述圆孔半径小于标准镜(1)的半径，所述柔性框(3)套装在标准镜镜框(2)内，所述标准镜镜框的底部与柔性框外圈的一个端面的靠面部分具有凸台，所述压圈设置在柔性框外圈的另一个端面，压圈与柔性框外圈的靠面部分具有凸台；

所述标准镜镜框上设置有与干涉仪连接的标准接口。

2.根据权利要求1所述的用于高精度标准镜的无应力装夹柔性装置，其特征在于：所述标准镜(1)的厚度大于柔性框(3)的厚度。

3.根据权利要求1所述的用于高精度标准镜的无应力装夹柔性装置，其特征在于：所述标准镜(1)的材料为融石英；所述柔性框(3)的材料为殷钢；所述标准镜框(2)的材料为铝合金。

4.根据权利要求1所述的用于高精度标准镜的无应力装夹柔性装置，其特征在于：所述标准镜(1)的厚度为15mm，所述柔性框(3)的厚度为14.5mm。

5.根据权利要求4所述的用于高精度标准镜的无应力装夹柔性装置，其特征在于：所述标准镜(1)的每个镜面都比柔性框面高0.25mm。

6.根据权利要求1所述的用于高精度标准镜的无应力装夹柔性装置，其特征在于：所述狭缝(31)为6个；所述注胶孔(35)为6个。

7.根据权利要求6所述的用于高精度标准镜的无应力装夹柔性装置，其特征在于：所述狭缝(31)通过线切割加工完成。