[发明专利]一种基板破片侦测装置

权利要求书

1.一种基板破片侦测装置，其特征在于，包括：固定装置、传送装置、第一光反射式传感器以及第二光反射式传感器；

所述第一光反射式传感器和所述第二光反射式传感器设置在待测基板的两侧；

其中，所述第一光反射式传感器和所述第二光反射式传感器均用于发射光束和接收所述光束，

所述基板破片侦测装置根据所述第一光反射式传感器与所述第二光反射式传感器接收所述光束的时间差对所述待测基板进行侦测破片。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，当所述第一光反射式传感器和所述第二光反射式传感器设置在所述待测基板的正反两侧时，以所述待测基板为基准面，所述第一光反射式传感器和所述第二光反射式传感器呈镜像分布。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第一光反射式传感器和所述第二光反射式传感器包括光发射器和光接收器，

其中，所述光发射器用于发射所述光束，所述光接收器用于接收所述光束，并计算所接收的光束的反射光强度。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述传送装置为带式输送机，用于输送所述待测基板。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述固定装置设置于所述传送装置上，用于固定所述待测基板。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述基板破片侦测装置还包括第一反射镜和第二反射镜。

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述第一反射镜设置在所述待测基板的一侧，且与所述待测基板平行，所述第一反射镜与所述待测基板的间距大于所述第一反射式传感器与所述待测基板的间距；

所述第二反射镜设置在所述待测基板的另一侧，且与所述待测基板平行，所述第二反射镜与所述待测基板的间距大于所述第二反射式传感器与所述待测基板的间距。

8.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述第一反射镜和所述第二反射镜用于反射所述光发射器发射的所述光束，以被所述光接收器所接收。

9.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述第一反射镜、所述第二反射镜为镀银的平面反射镜，且二者具有相同的反射率。

10.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述光束为激光。