[发明专利]一种太阳能电池片制备方法

说明书

本发明公开了一种太阳能电池片制备方法，包括镀膜前处理步骤、镀减反射膜步骤以及镀膜后处理步骤，其中，镀减反射膜步骤具体为：将经过镀膜前处理的硅片装入不成膜饱和的石墨舟内进行PECVD镀膜，石墨舟在使用70～90次后，进行1次清洗处理，清洗完成后的石墨舟装入PECVD管内，进行不成膜饱和，不成膜饱和完成后，继续用于硅片镀膜。采用本发明的工艺大大降低了太阳能电池片边缘发白的现象，提高了太阳能电池片的色差均匀性，降低了产品的不良率，节约成本。

技术领域

本发明涉及太阳能电池制造领域，尤其涉及一种太阳能电池片制备方法。

背景技术

随着光伏行业的不断发展，太阳能电池制造技术不断创新，黑硅技术已逐渐凸显其优势并被行业仍可，目前已逐步占据太阳能电池制造市场，但是仍然存在一定的技术缺陷，主要缺陷在于目前干法黑硅镀膜厚色系较多，边缘发白发黄严重。

发明内容

为了克服现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种能够改善硅片边缘效应的太阳能电池片制备方法。

本发明的目的采用如下技术方案实现：

一种太阳能电池片制备方法，包括镀膜前处理步骤、镀减反射膜步骤以及镀膜后处理步骤，其中，所述镀减反射膜步骤具体为：将经过镀膜前处理的硅片装入不成膜饱和的石墨舟内进行PECVD镀膜，石墨舟在使用70～90次后，进行1次清洗处理，清洗完成后的石墨舟装入PECVD管内，进行不成膜饱和，不成膜饱和完成后，继续用于硅片镀膜。

进一步地，所述不成膜饱和的具体步骤为：向PECVD管内通入氨气5000～7000sccm，压强为1000～2000Pa，反应温度为300～500℃，反应时间为1～2小时。

进一步地，所述石墨舟的清洗处理包括以下步骤：拆舟、酸洗、水洗至中性、干燥、装舟。

进一步地，所述石墨舟的清洗处理步骤中，酸洗具体为：将拆下的石墨舟放入HF槽中浸泡8h～12h，并且每1小时设定鼓泡5～20min，HF槽中HF与水的体积比为1：(2～8)。

进一步地，所述石墨舟的清洗处理步骤中，水性至中性具体为：酸洗步骤完成后，将石墨舟移至水槽中浸泡4h～8h，水槽内不断鼓泡，其间换水2～3次，浸泡完成后，用水喷淋5～10min，直到石墨舟为中性。

进一步地，所述石墨舟的清洗处理步骤中，干燥具体为：水洗完成后，用N₂或压缩空气(CDA)将石墨舟片表面的水分吹扫干净，然后放入100℃～300℃的烘箱内进行烘干，烘干时间为5～9小时。

进一步地，所述镀膜前硅片处理步骤包括：清洗、制绒、扩散、去磷硅玻璃、边缘绝缘。

进一步地，所述镀膜后处理步骤包括：印刷、烧结。

相比现有技术，本发明的有益效果在于：采用本发明的工艺大大降低了太阳能电池片边缘发白的现象，提高了太阳能电池片的色差均匀性，降低了镀膜隔离率，降低了产品的不良率，节约成本。

具体实施方式

下面，结合具体实施方式，对本发明做进一步描述，需要说明的是，在不相冲突的前提下，以下描述的各实施例之间或各技术特征之间可以任意组合形成新的实施例。

本发明提供一种太阳能电池片制备方法，包括以下步骤：镀膜前处理步骤、镀减反射膜以及镀膜后处理步骤。

镀膜前硅片处理步骤包括：清洗、制绒、扩散、去磷硅玻璃、边缘绝缘等步骤。

镀膜后处理步骤包括：印刷、烧结等步骤。