[发明专利]一种高沉积速率蒸镀的蒸发舟调节固定装置

权利要求书

1.一种高沉积速率蒸镀的蒸发舟调节固定装置，其特征在于，包括正调节固定板、负调节固定板、正电极延长柱与负电极延长柱，正调节固定板与负调节固定板的板面均设有固定孔与第一腰型孔，正调节固定板及负调节固定板分别通过第一腰型孔水平连接于正蒸镀电极及负蒸镀电极顶部；正电极延长柱及负电极延长柱分别通过固定孔竖直固定于正调节固定板及负调节固定板；

正电极延长柱及负电极延长柱顶部分别螺纹连接有固定套筒，固定套筒侧壁设有水平的开口槽, 两个固定套筒的开口槽相对设置，蒸发舟两端分别插入两个开口槽形成配合；两个固定套筒上部分别设有锁紧螺栓，使蒸发舟两端分别夹紧固定于相对应的锁紧螺栓与电极延长柱之间。

2.根据权利要求1所述的一种高沉积速率蒸镀的蒸发舟调节固定装置，其特征在于，所述调节固定装置还包括蒸发舟屏蔽罩筒以及位于蒸发舟下方的屏蔽罩筒托盘，屏蔽罩筒托盘顶部设有圆形的承托槽，屏蔽罩筒托盘还设有第二腰型孔，屏蔽罩筒托盘通过第二腰型孔水平套设于正电极延长柱或负电极延长柱的外壁；蒸发舟屏蔽罩筒包含与蒸发舟尺寸相适应的上罩筒及下罩筒，所述承托槽对上罩筒及下罩筒的底边形成承托配合，下罩筒位于蒸发舟下方，上罩筒的筒壁下部设有相互对称的通槽，通槽使蒸发舟横向穿过上罩筒。