[发明专利]光刻胶图案形成方法及压印模具

权利要求书

1.一种光刻胶图案形成方法，其特征在于，包括以下步骤：

在基底上涂覆光刻胶；

通过压印模具对所述光刻胶进行压印，所述压印模具包括透光区及遮光区，所述透光区和所述遮光区之一为光刻胶固化覆盖区，所述光刻胶固化覆盖区设置有至少一个朝向所述光刻胶的凸起，所述凸起的宽度小于所述光刻胶固化覆盖区的宽度；

对所述光刻胶进行紫外固化，以固化所述光刻胶固化覆盖区所覆盖的所述光刻胶；

去除所述压印模具；

去除未固化的所述光刻胶，形成光刻胶图案；

所述压印模具包括透明基板及设置于所述透明基板上的金属层，所述金属层构成所述遮光区；

所述凸起设置于所述透光区，所述金属层与所述凸起位于所述透明基板的相同侧，所述金属层的表面凸出于所述凸起最外层的表面。

2.根据权利要求1所述的光刻胶图案形成方法，其特征在于，所述透明基板为石英板，所述金属层的材料至少包括铬、钼和铝中的任一种。