[发明专利]超高真空低温样品台

说明书

本发明公开了一种超高真空低温样品台，属于真空设备仪器领域。该装置包括机械提拉设备、低温延长管、滑动电极、连接固定帽、样品台体和可拆卸屏蔽罩，机械提拉设备向上与低温冷头通过螺丝进行固定；机械提拉设备向下通过螺丝与低温延长管进行固定；低温延长管是个空心无氧铜管，低温延长管向下通过螺丝与滑动电极进行固定；滑动电极向下通过螺丝与连接固定帽进行固定；连接固定帽与下方样品台体进行活动连接；样品台体通过螺丝与可拆卸屏蔽罩进行固定。本发明只需要一个旋转自由度和一个线性移动的自由度，即可实现在真空中对样品台进行机械、热学、电学的连接与拆卸，同时样品台样品平面可以旋转以及变温，能够在不同方向上对样品进行测量。

技术领域

本发明专利属于真空设备仪器领域，是关于真空样品台的装置，尤其是一种能够方便的安装或者拆卸，并且样品台平面可以旋转的装置，并且可以运用到低温超高真空领域。

背景技术

目前，公知的超高真空低温样品台由无氧铜为主体制成。在进行测量的过程时，首先需要将样品放置在样品台在上后，再将样品台手动固定于测量腔中，之后再对测量腔的气压，温度等条件进行调控。在此类装置中，样品台放置在测量腔后无法改变样品台平面的倾角。此外，在安装或者拆卸样品台的过程中真空测量腔需要打开，从外界将样品台安放在测量腔中，这将导致样品会短暂的暴露于空气之中，同时真空测量腔需要重新调节测量腔中的环境参数。这一过程将会导致样品性质发生改变，并且重新获得测量需要的超低温与超高真空环境将耗费较多时间。

发明内容

本发明的目的是克服现有技术中的不足，提供一种超高真空低温样品台。

本发明超高真空低温样品台，通过以下技术方案予以实现。

一种超高真空低温样品台，该样品台与超高真空环境中的低温冷头(1)固定连接，超高真空低温样品台包括：机械提拉设备(2)、低温延长管(3)、滑动电极(4)、连接固定帽(5)、样品台体(6)、可拆卸屏蔽罩(7)。装置整体如图1所示。具体连接方式为，机械提拉设备(2)向上与低温冷头(1)通过螺丝进行固定；机械提拉设备(2)向下通过螺丝与低温延长管(3)进行固定；低温延长管(3)是个空心无氧铜管，向下通过螺丝与滑动电极(4)进行固定；滑动电极(4)向下通过螺丝与连接固定帽(5)进行固定；连接固定帽(5)与下方样品台体(6)进行活动连接；样品台体(6)通过螺丝与可拆卸屏蔽罩(7)进行固定。

为了在本发明样品台装卸的时候保护电极弹针，设计了机械提拉设备(2)与滑动电极(4)，如图2-4所示。机械提拉设备包括钢丝组(8)、滑轮组(10)；滑动电极(4)包括滑动电极座(11)、滑动电极盘(12)、滑动电极杆(13)，其中滑动电极盘(12)上固定有探针阵列。具体连接方式为，滑轮组(10)通过螺母机械固定于低温冷头上(1)；钢丝(8-1)一端绕在滑轮组(10)上，另一端向上穿过超高真空区域，并连接在超高真空线性位移导入器上(9)；另外两条同样长度的钢丝(8-2)分辨绕在滑轮组(10)的中间两个轮子上，另一端通过螺母固定在滑动电极盘(12)上，这样便能通过控制钢丝(8-1)带动滑轮组转动，从而带动钢丝(8-2)，把滑动电极盘(12)向上拉动；滑动电极座(11)内首先通过螺丝固定四根滑动电极杆(13)，这四根滑动电极杆(13)穿过滑动电极盘(12)，使得其(12)活动固定于四根滑动电极杆(13)上，四个弹簧分别被四根滑动电极杆穿过，弹簧上端顶在滑动电极座(11)上，下端顶在滑动电极盘(12)上，可以给滑动电极盘(12)向下的力，使得在滑轮组(10)不施加牵引时，滑动电极盘(12)可以沿着滑动电极杆(13)向下移动到底。