[发明专利]一种高强度键合铜丝的制备方法及应用

权利要求书

1.一种高强度键合铜丝的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)将电解提纯所得纯度为99.999wt％的提纯铜经金属单晶水平连铸得到纯度为99.9999wt％的单晶铜；

(2)将熔炼炉抽真空，待真空度达到10^-1Pa，充入氮气使炉内压力达到0.5～0.8MPa，加热熔化单晶铜，再加入占铜液质量5wt％的铌、4.7wt％的铬、1.8wt％的二硼化钛粉、0.5wt％的邻甲酚醛环氧树脂，继续加热至3200℃，搅拌均匀得到混合铜液；

(3)将步骤(2)得到的混合铜液经降温、过滤后转移到保温炉中，保温炉中的混合铜液表面覆盖有一层由木炭和石墨鳞片组成的覆盖层，保温炉的温度为1380～1430℃，将连铸机的结晶器伸入铜液内，结晶器内部采用循环冷却水隔套冷却，铜液在结晶器内凝结成固体，并经过连铸机中的牵引辊机构向上牵引形成无氧铜杆；

(4)将无氧铜杆经挤压后在拉丝机上逐步拉细，得到铜丝，随后进行退火，退火温度为280℃，退火速度为0.5～1.5m/s；

(5)退火后在铜丝表面喷涂防护膜涂覆液，得到成品。

2.根据权利要求1所述的高强度键合铜丝的制备方法，其特征在于：所述步骤(3)中结晶器伸入混合铜液的深度为25～30mm；循环冷却水的出水的温度为35～40℃，且冷却进出水的温差≤8℃；牵引辊机构的牵引速度为1300mm/min。

3.根据权利要求1所述的高强度键合铜丝的制备方法，其特征在于：所述步骤(4)中拉丝过程中的模具延伸率为10～15％，拉丝速度为10～12m/s。

4.根据权利要求1所述的高强度键合铜丝的制备方法，其特征在于：所述步骤(5)的防护膜涂覆液的组成为：膦酸丁烷三羧酸5份、聚偏氟乙烯3份、环己酮2份，溶剂为100份的N，N-二甲基甲酰胺。

5.权利要求1～4任一项所述的制备方法所制得的铜丝在集成电路中的应用。