[发明专利]MEMS器件、液体喷射头以及液体喷射装置

说明书

本发明提供能够将保护膜薄膜化以及降低制造成本的MEMS器件、液体喷射头以及液体喷射装置。所述MEMS器件具备相对于第一基板隔开间隔而配置的第二基板和被夹持在第一基板与第二基板之间的被夹持部件，并且所述MEMS器件具有由第一基板、第二基板以及被夹持部件划分出的空间，第一基板具有配线，所述配线从作为与第二基板侧相反的一侧的面的第一面侧向作为第二基板侧的面的第二面侧延伸设置，并且由导体构成，配线的第一面侧的端部由被设置在第一面侧的第一保护膜所覆盖，配线的第二面侧的端部面对空间。

技术领域

本发明涉及一种在被接合在一起的两个基板之间形成有空间的MEMS器件、液体喷射头以及液体喷射装置。

背景技术

具备两个基板并且在这两个基板之间具有空间的MEMS(Micro ElectroMechanical Systems(微机电系统))器件被应用于各种装置(例如，液体喷射装置或传感器等)。例如，在作为MEMS器件的一种的液体喷射头中，在上述的空间中具备压电元件等致动器。此外，作为搭载有这种液体喷射头的液体喷射装置，例如有喷墨式打印机或喷墨式绘图仪等图像记录装置。最近，液体喷射头发挥能够将极少量的液体准确地喷落在预定位置处的特长，从而也被应用在各种制造装置中。例如，被应用于制造液晶显示器等的滤色器的显示器制造装置、形成有机EL(Electro Luminescence：电致发光)显示器或FED(面发光显示器)等的电极的电极形成装置、制造生物芯片(生物化学元件)的芯片制造装置等中。而且，通过图像记录装置用的记录头而喷射液状的油墨，通过显示器制造装置用的颜色材料喷射头而喷射R(Red：红色)、G(Green：绿色)、B(Blue：蓝色)的各种颜色材料的溶液。此外，通过电极形成装置用的电极材料喷射头而喷射液状的电极材料，通过芯片制造装置用的生物体有机物喷射头而喷射生物体有机物的溶液。

作为上述的MEMS器件，存在如下器件，即，两个基板中的任意一方的基板具备在板厚方向上贯穿该基板的配线(以下，称为贯穿配线)。另外，并不限定于MEMS器件的贯穿配线，形成于基板等上的配线也被覆盖保护膜，以达到抑制腐蚀的目的(例如，参照专利文献1)。尤其在具有贯穿配线的基板中，如专利文献1所公开的那样，由于贯穿配线的两端部(基板的上表面侧的端部以及基板的下表面侧的端部)露出，因此为了覆盖这两端部而在基板的两个面上形成有保护膜。

在此，从提高生产效率的观点以及抑制制造成本的观点出发，期望将保护膜的厚度减薄(换言之，薄膜化)。尤其在保护膜采用了具有导电性以及耐腐蚀性的金属，以使保护膜作为配线的一部分而发挥功能的情况下，制造成本容易增加。即，具有导电性以及耐腐蚀性的金属多包含例如钛(Ti)或钨(W)等稀有金属，从而制造成本容易增加。因此，更加期望保护膜的薄膜化。

专利文献1：日本特开平8-181242号公报

发明内容

本发明是鉴于这种情况而完成的发明，其目的在于，提供一种能够实现保护膜的薄膜化，并且能够降低制造成本的MEMS器件、液体喷射头以及液体喷射装置。

本发明的MEMS器件是为了达成上述目的而提出的，其特征在于，具备：第一基板；第二基板，其相对于所述第一基板隔开间隔而配置；被夹持部件，其被夹持在所述第一基板与所述第二基板之间，所述MEMS器件具有由所述第一基板、所述第二基板以及所述被夹持部件划分出的空间，所述第一基板具备配线，所述配线从作为与所述第二基板侧相反的一侧的面的第一面侧向作为所述第二基板侧的面的第二面侧延伸设置，并且由导体构成，所述配线的所述第一面侧的端部由设置于所述第一面侧的第一保护膜所覆盖，所述配线的所述第二面侧的端部面对所述空间。

根据该结构，由于配线的第二面侧的端部面对空间，因此该配线的第二面侧的端部不易受到第一基板以及第二基板的外侧的环境的影响。由此，配线的第二面侧的端部不易被腐蚀，从而能够将覆盖配线的第二面侧的端部的保护膜减薄。或者，能够将覆盖配线的第二面侧的端部的保护膜省略。其结果为，能够对MEMS器件的制造成本进行抑制。此外，能够缩短形成保护膜的时间，从而能够提高MEMS器件的生产效率。