[发明专利]光晶体管结构的柔性紫外探测器

权利要求书

1.一种无机钙钛矿光晶体管结构的紫外探测器，其特征在于，基底(1)为玻璃基底，在基底(1)上制备CsPbX₃薄膜(2)作为有源层，在CsPbX₃薄膜(2)表面制备同物质的CsPbX₃量子点(5)掺杂的PMMA有机层(4)作为栅绝缘层，以此为紫外光感应窗口；薄膜晶体管的源极(3.1)、漏Au电极(3.2)分别位于CsPbX₃薄膜(2)上的两边，FTO栅极(6)位于CsPbX₃薄膜(2)的上的中间，在薄膜晶体管的源极(3.1)、漏Au电极(3.2)和FTO栅极(6)调制下，获得光生载流子分离、转换的电信号读取、放大的集成功能，以实现高响应度的紫外信号探测。

2.一种无机钙钛矿光晶体管结构的紫外探测器，其特征在于，基底(1)为玻璃基底，在基底(1)上制备FTO导电薄膜层作为栅极(6)，在栅极(6)上制备CsPbX₃量子点(5)掺杂的PMMA有机层(4)作为栅绝缘层，在栅绝缘层上旋涂同质的CsPbX₃薄膜(2)为有源层，源极(3.1)、漏Au电极(3.2)分别位于CsPbX₃薄膜(2)的两边，在薄膜晶体管的源极(3.1)、漏Au电极(3.2)和FTO栅极(6)调制下，获得光生载流子分离、转换的电信号读取、放大的集成功能，以实现高响应度的紫外信号探测。

3.根据权利要求1或2所述的无机钙钛矿光晶体管结构的紫外探测器，其特征在于，所述的基底(1)为柔性PET衬底。

4.根据权利要求1、2或3所述的无机钙钛矿光晶体管结构的紫外探测器，其特征在于所述的栅绝缘层中掺杂的CsPbX₃量子点与有源层的CsPbX₃薄膜形成同质结构，降低了栅极与有源层间的势垒，利于光生载流子对有源层的注入，在源、漏电极作用下，可获取放大的光电流，提高紫外光探测性能。

5.根据权利要求4所述的无机钙钛矿光晶体管结构的紫外探测器，其特征在于所述的栅绝缘层通过将CsPbX₃和PMMA充分溶解于甲苯溶剂中，采用溶液旋涂法在相应材料表面进行成膜，并进行退火处理得到。

6.根据权利要求3、4所述的光晶体管结构的柔性紫外探测器，其特征在于所述的CsPbX₃和PMMA充分溶解于甲苯溶剂中的比例为：CsPbX₃浓度1mg/ml至5mg/ml，PMMA浓度为2wt％至10wt％。