[发明专利]六氟化硫混合气体净化回收配气补气装置及其操作方法

权利要求书

1.六氟化硫混合气体净化回收配气补气装置，其特征在于：包括混合气体回收系统和配气补气系统；

混合气体回收系统包括第一回收气管、第二回收气管、第三回收气管、回收口、第一缓冲罐，第一回收气管和第二回收气管并联设置，第一回收气管和第二回收气管的进气口均与回收口连接，第一回收气管和第二回收气管的出气口均与第一缓冲罐的进气口连接，回收口的出气口处设置有第一压力传感器，第一回收气管上沿气流方向依次设置有第一电磁阀、第一压缩机和单向阀，第二回收气管上设置有第二电磁阀，第三回收气管的进气端连接在第二回收气管上的第二电磁阀进气口处，第三回收气管的出气端连接在第一电磁阀和第一压缩机之间的第一回收气管上，第三回收气管上设置有第二压缩机；第一缓冲罐上设置有第二压力传感器；

配气补气系统包括配气主管和补气管，配气主管的进气口与第一缓冲罐的出气口连接，配气主管的出气口为第一输出口，配气主管沿气流方向依次设置有减压阀、第一电磁二位三通阀、第三电磁阀、第一气体质量流量计、第二缓冲罐、电动蝶阀、第三缓冲罐、第三压缩机、第三压力传感器、第二电磁二位三通阀和第一浮尘过滤器，第二缓冲罐上设置有用于控制电动蝶阀开启度的差压传感器，第一电磁二位三通阀和第二电磁二位三通阀均具有第一接口、第二接口和第三接口，第一电磁二位三通阀的第一接口和第二接口串接在配气主管上，第二电磁二位三通阀均具有第一接口和第三接口连接在配气主管上，补气管的进气口设置有补气口，补气管的出气口连接在第一气体质量流量计和第二缓冲罐之间的配气主管上，补气管上设置有第二气体质量流量计。

2.根据权利要求1所述的六氟化硫混合气体净化回收配气补气装置，其特征在于：第一气体质量流量计和第二缓冲罐之间的配气主管与第一电磁二位三通阀的第二接口之间还通过配气副管连接，配气副管上沿气流方向依次设置有第四电磁阀和第三气体质量流量计，配气主管在第三电磁阀和第一气体质量流量计之间设置有第一输入口，配气副管在第四电磁阀和第三气体质量流量计之间设置有第二输入口。

3.根据权利要求2所述的六氟化硫混合气体净化回收配气补气装置，其特征在于：第二电磁二位三通阀的第二接口连接有干燥过滤管，干燥过滤管的出气口为第二输出口，干燥过滤管上沿气流方向依次设置有第一分子筛、第二分子筛和第二浮尘过滤器；配气主管上在第二电磁二位三通阀的第一接口与第三压力传感器之间连接有六氟化硫浓度及湿度检测管，六氟化硫浓度及湿度检测管上设置有手动阀。

4.根据权利要3所述的六氟化硫混合气体净化回收配气补气装置，其特征在于：还包括抽真空系统，抽真空系统包括真空泵、抽真空主管、第一抽真空支管、第二抽真空支管、第三抽真空支管和第四抽真空支管，真空泵的进气口与抽真空主管的出气口连接，第一抽真空支管、第二抽真空支管、第三抽真空支管和第四抽真空支管的出气口均连接在抽真空主管上，第一抽真空支管的进气口连接在补气口与第二气体质量流量计之间的补气管上，第二抽真空支管的进气口连接在单向阀与第一缓冲罐之间的第一回收气管上，第三抽真空支管的进气口连接在第三缓冲罐和第三压缩机之间配气主管上，第四抽真空支管的进气口连接在第二电磁二位三通阀的第一接口与第三压力传感器之间的配气主管上，第一抽真空支管、第二抽真空支管、第三抽真空支管和第四抽真空支管分别设置有第五电磁阀、第六电磁阀、第七电磁阀和第八电磁阀；抽真空主管上沿抽气的气流方向依次设置有压力开关、第九电磁阀、真空度传感器和第十电磁阀。