[发明专利]三维空间光源系统及相关的光测量设备

权利要求书

1.一种三维空间光源系统，其特征在于，包括：

光源(10)；以及

彼此独立的多个光路(20、30、40、50、60)，被配置为分别独立地耦合到所述光源；

其中，所述多个光路进一步包括中间光路(20)和多个外围光路(30、40、50、60)，所述多个外围光路被配置为围绕所述中间光路(20)进行布置并且能够作为次级光源进行输出。

2.根据权利要求1所述的三维空间光源系统，其中所述中间光路(20)被配置为接收从所述光源(10)发出的光，并实时检测所述光源的光强变化。

3.根据权利要求2所述的三维空间光源系统，其中所述中间光路包括依次布置的色轮(201)和光强探测器(202)。

4.根据权利要求2所述的三维空间光源系统，其中所述色轮(201)被配置为包括中性密度滤光片以及长通或短通滤光片。

5.根据权利要求1所述的三维空间光源系统，其中所述多个外围光路(30、40、50、60)的至少一个外围光路包括第一外围光路，所述第一外围光路包括依次布置的第一色轮(701)、球面反射镜(702)、平面反射镜(703)和第二色轮(704)。

6.根据权利要求1所述的三维空间光源系统，其中所述多个外围光路(30、40、50、60)中的至少一个外围光路包括第二外围光路，所述第二外围光路包括依次布置的第一色轮(801)、第一抛物面反射镜(802)、第二色轮(803)、第三色轮(804)和第二抛物面反射镜(805)。

7.根据权利要求1所述的三维空间光源系统，其中所述多个外围光路(30、40、50、60)的至少一个外围光路包括第三外围光路，所述第三外围光路包括依次布置的第一色轮(901)、椭球面反射镜(902)和第二色轮(903)。

8.根据权利要求1所述的三维空间光源系统，其中所述多个外围光路(30、40、50、60)的至少一个外围光路包括第四外围光路，所述第四外围光路包括依次布置的第一色轮(1001)和光纤(1002)。

9.根据权利要求5-8中任一项所述的三维空间光源系统，其中所述第一外围光路中的第一色轮(701)、所述第二外围光路中的第一色轮(801)和第二色轮(803)、所述第三外围光路中的第一色轮(901)或所述第四外围光路中的第一色轮(1001)被配置为包括全开光阑、挡光片、长通滤光片以及中性密度滤光片。

10.根据权利要求5-7中任一项所述的三维空间光源系统，其中所述第一外围光路中的第二色轮(704)、所述第二外围光路中的第三色轮(804)或所述第三外围光路中的第二色轮(903)被配置为包括全开光阑、中性密度滤光片、以及长通或短通滤光片。

11.根据权利要求1所述的三维空间光源系统，其中所述多个外围光路包括从用于光谱椭偏测量系统(SE)的光源的光路、用于光谱反射式系统(SR)的光源的光路、用于样品自动聚焦系统(AF)的光源的光路和用于样品图像识别系统(PR)的光源的光路构成的组中选择的多个外围光路。

12.根据权利要求5-7中任一项所述的三维空间光源系统，其中所述多个外围光路中的至少一个外围光路中的会聚光束的子午面和从所述光源(10)出射的光束子午面处于同一平面或成一夹角。

13.根据权利要求1-8和11中任一项所述的三维空间光源系统，其中所述光源为宽光谱光源。

14.一种光测量设备，其特征在于，包括根据权利要求1-13中任一项所述的三维空间光源系统。

15.根据权利要求14所述的光测量设备，其中所述光测量设备是椭圆偏振测量设备。