[发明专利]一体化封装结构热电器件及其制备方法有效
申请号: | 201710848199.7 | 申请日: | 2017-09-19 |
公开(公告)号: | CN107706296B | 公开(公告)日: | 2019-12-17 |
发明(设计)人: | 唐云山;柏胜强;廖锦城;夏绪贵;吴汀;陈立东;岛田武司;后藤良 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海硅酸盐研究所;日立金属株式会社 |
主分类号: | H01L35/02 | 分类号: | H01L35/02;H01L35/34;H01L23/31 |
代理公司: | 31261 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 姚佳雯;邹蕴 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一体化 封装 结构 热电器件 及其 制备 方法 | ||
本发明的一体化封装结构热电器件及其制备方法,具备:至少包含一对P型和N型热电材料、且具备高温端及低温端的热电组件;设于所述热电组件的高温端侧及低温端侧的绝缘层;设于所述热电组件的高温端侧的缓冲层;整体覆盖所述热电组件、所述绝缘层及所述缓冲层的上盖;载置所述热电组件且与所述上盖形成封闭的壳体空间的底板;以及,分别与所述热电组件及所述底板装配连接的多个输出传感器。根据本发明,可保证热电材料和高温金属电极不被氧化,可直接在高温、大气环境下长时间使用,提高热电器件的寿命和可靠性。
技术领域
本发明涉及一种热电器件,尤其涉及一体化封装结构热电器件及其制备方法。
背景技术
热电转换技术是利用半导体材料直接将热能与电能进行转换的技术,是一种环境友好型能量转换技术,在工业余废热和汽车尾气废热的回收利用方面具有显著的优势,对提高余废热利用率,提升能源综合利用效率,降低化石燃料消耗,改善环境、气候等方面具有重要作用。
制约热电转换技术广泛应用主要有两方面因素,一是热电材料的本征热电性能,它决定了热电材料具有的理论最高转换效率;二是器件制备集成技术,它直接影响器件可靠性及器件转换效率。
随着材料制备新技术发展,多个体系的热电材料性能大幅提升。同时,热电组件集成技术优化及多段、级联器件技术突破,热电器件效率获得不断提升。然而,对热电器件,尤其是高温热电器件,其工作温度通常为300℃~1000℃。热电器件在高温服役过程中,部分组成元素挥发或材料氧化会导致其热电器件的性能下降,甚至失效,因此无封装结构的热电器件无法在高温下和空气环境中长期使用,这严重阻碍了热电器件的实际应用。
为了避免这一问题,通常会在热电材料表面制备涂层进行防护。Chen 等 [LidongChen,Takashi Goto,Rong Tu 和 Toshio Hirai, High-temperature oxidationbehavior of PbTe and oxidation-resistive glass coating[J].1997 PROCEEDINGS,Sixteenth International Conference on Thermoelectrics(ICT) :251-254] 在 PbTe表面涂覆30-50μm玻璃涂层用以阻止其被氧化。中国专利公开CN 103146301 A公开了一种方钴矿基无机保护涂层制备方法, MITSURU KAMBE等[MITSURU KAMBE, TAKAHIROJINUSHI, 和 ZENZO ISHIJIMA,Encapsulated Thermoelectric Modules and CompliantPads for Advanced Thermoelectric Systems[J].,Journal of Electronic Materials,39(9), 2010 : 1418-1421]使用电子束焊接将热电器件封装于316不锈钢壳体内,可以有效防护器件氧化问题。
同属本申请人申请的对比文件1公开了结合连接过渡层和阻挡层的多层防护涂层,对CoSb3中Sb的挥发及热电材料由外向里的氧化有一定效果,然而,在实际制备中,在热电材料上制备防护涂层不仅条件苛刻,而且涂层在实际使用过程中,热电器件的高低温热震通常会导致涂层开裂或脱落。此外,对具有直角、尖点等特殊形状结构的热电元件很难保证涂层的连续性、均匀性和致密性。对热电器件的电极材料而言,其氧化问题也无法通过涂层完全解决。
现有技术文献:
专利文献:
专利文献1:中国专利公开CN 104465976 A。
发明内容
发明要解决的问题:
鉴于以上存在的问题,本发明的目的在于提供一种寿命长、可靠性高的一体化封装结构热电器件及其制备方法,使其在工作温度范围内可以长时间稳定工作,克服仅能在热电材料上进行涂层防护等诸多技术问题。
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