[发明专利]一种乙炔气体传感器及制备方法

权利要求书

1.一种乙炔气体传感器，其特征在于，所述传感器包括Al₂O₃衬底(1)、Pd金属叉指电极(3)和Au粒子表面修饰的SnO₂八面体(2)。

2.如权利要求1所述的一种乙炔气体传感器,其特征在于，所述金属叉指电极的宽度和间距均为0.15～0.20mm，厚度为100nm～150nm。

3.如权利要求1所述的一种乙炔气体传感器,其特征在于，所述金属叉指电极的宽度和间距均为0.18mm，厚度为120nm。

4.一种乙炔气体传感器的制备方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：

(1)用丙酮、乙醇和去离子水清洗带有Pd金属叉指电极的Al₂O₃衬底，

用丙酮、乙醇和去离子水超声清洗Pd金属叉指电极，干燥；

(2)制备八面体SnO₂：

(3)用Au修饰八面体SnO₂；

(4)制备气体传感器。

5.如权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中超声清洗5～10min，干燥温度为100～120℃。

6.如权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述制备制备八面体SnO₂包括如下步骤：

A、电磁搅拌无水乙醇和去离子水至少30分钟得到混合溶剂；

B、向上述混合溶液中加入五水氯化锡和盐酸搅拌10～30分钟后在150～220℃下反应12～15h；

C、冷却至室温后，将用去离子水离心得到的固体生成物干燥煅烧，得八面体SnO₂。

7.如权利要求6所述的制备方法，其特征在于，所述无水乙醇和去离子水的体积比为50～100：40～60。

8.如权利要求6所述的制备方法，其特征在于，在200～400℃下煅烧1～3小时。

9.如权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述用Au修饰八面体SnO₂包括如下步骤：

D、将八面体SnO₂微纳颗粒加入去离子水、氯酸金和氨水的混合物中搅拌3～5h；

E、在300～500℃下煅烧1～3小时，得到Au修饰的八面体SnO₂微纳颗粒。

10.如权利要求9所述的制备方法，其特征在于，所述八面体SnO₂为30～50mg；所述去离子水为20～30mL；所述氯酸金为0.05～0.08mL；所述氨水为1～2mL。

11.如权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述制备气体传感器包括如下步骤：

F、干燥后的Au修饰的八面体SnO₂微纳颗粒研磨分散后滴入去离子水研磨至浆料黏稠；

G、将涂覆所述浆料的Pd金属叉指电极在60～80℃下烘干，得微纳颗粒敏感层；

H、最后老化24～72小时，得气体传感器。

12.如权利要求11所述的制备方法，其特征在于，步骤(4)中的老化在40％RH的相对湿度、20～35℃温度和40～80mA的直流电下进行。