[发明专利]一种制备ZnO类晶体薄膜的方法及设备

权利要求书

1.一种制备ZnO类晶体薄膜的设备，其特征在于，此设备包括动力模块、反应模块和原料补充模块；所述动力模块包括一只水泵，水泵出水口用导管与反应容器相连，水泵进水口用导管与原料储存容器相连；所述反应模块包括数个反应容器和温控加热台，所述反应容器包括容器主体、进水管、出水管和载物平台，所述进水管与所述水泵的出水口用导管相连，所述出水管与导管相连至溶液储存设备底部，所述反应容器的载物平台用于放置衬底材料；原料补充模块包括一只一定体积的用于储存混合溶液的容器。

2.根据权利要求1所述的一种制备ZnO类晶体薄膜的设备，其特征在于，所述水泵在一个所述反应容器内产生的溶液流速为1-5L/min。

3.根据权利要求1所述的一种制备ZnO类晶体薄膜的设备，其特征在于，所述容器主体内径为30mm，内壁高度64mm，所述进水管和出水管口径为5mm×7mm，所述载物平台厚4mm，内孔直径16mm，位于所述容器主体的中间位置，所述反应容器瓶口使用玻璃塞密闭。

4.根据权利要求1所述的一种制备ZnO类晶体薄膜的设备，其特征在于，所述导管为口径7mm×10mm的硅胶软管。