[发明专利]一种镀金刚膜的红外硫系玻璃镜片及其制备方法有效
| 申请号： | 201710854238.4 | 申请日： | 2017-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN107526120B | 公开（公告）日： | 2019-11-01 |
| 发明（设计）人： | 蔡明宗;李海军 | 申请（专利权）人： | 佛山华国光学器材有限公司 |
| 主分类号： | G02B1/10 | 分类号： | G02B1/10;G02B1/14;G02B5/20;C23C14/06;C23C14/18;C23C14/24 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 谭英强 |
| 地址： | 528000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 红外硫系玻璃 镜片 膜层 光学薄膜 镀金 制备 光谱透过 红外镜片 规格要求 蒸镀 镀膜机台 光学光谱 依次设置 再现性 膜料 膜系 薄膜 搭配 磨擦 保证 | ||
1.一种镀金刚膜的红外硫系玻璃镜片，其特征在于：红外硫系玻璃镜片的表面由内至外依次设置第一Ge膜层、第一ZnSe膜层、第二Ge膜层、第二ZnSe膜层、YF3膜层和AlSi膜层；所述第一Ge膜层的厚度为215～225nm，第一ZnSe膜层的厚度为460～470nm，第二Ge膜层的厚度为230～240nm、第二ZnSe膜层的厚度为420～430nm、YF3膜层的厚度为1220～1240nm，AlSi膜层的厚度为230～240nm。
2.权利要求1所述的一种镀金刚膜的红外硫系玻璃镜片的制备方法，其特征在于：将待镀膜的红外硫系玻璃镜片清洗，烘烤后，依次在镜片表面蒸镀第一Ge膜、第一ZnSe膜、第二Ge膜、第二ZnSe膜、YF3膜和AlSi膜，然后再烘烤制成。
3.根据权利要求2所述的一种镀金刚膜的红外硫系玻璃镜片的制备方法，其特征在于：蒸镀AlSi膜所用的膜料为Al2O3和SiO2组成的AlSi混合物。
4.根据权利要求3所述的一种镀金刚膜的红外硫系玻璃镜片的制备方法，其特征在于：AlSi混合物在550nm下的折射率为1.46～1.50。
5.根据权利要求2所述的一种镀金刚膜的红外硫系玻璃镜片的制备方法，其特征在于：清洗为离子清洗机清洗。
6.根据权利要求5所述的一种镀金刚膜的红外硫系玻璃镜片的制备方法，其特征在于：离子清洗机的离子源为氩气。
7.根据权利要求6所述的一种镀金刚膜的红外硫系玻璃镜片的制备方法，其特征在于：清洗的时间为15～50min。
8.根据权利要求2所述的一种镀金刚膜的红外硫系玻璃镜片的制备方法，其特征在于：蒸镀前，烘烤的温度为80～180℃，烘烤的时间为50～120min。
9.根据权利要求2所述的一种镀金刚膜的红外硫系玻璃镜片的制备方法，其特征在于：蒸镀后，烘烤的温度为80～120℃，烘烤的时间为50～150min。
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