[发明专利]一种基于液晶电光波导的光学交叉互连器件

权利要求书

1.一种基于液晶电光波导的光学交叉互连器件，包括光学交叉互连器件本体，其特征在于：所述光学交叉互连器件本体由基于液晶电光波导(103)的光开关(1)阵列组成，每个所述光开关(1)配置连接一个输入端口(2)和一个输出端口(3)，所述光学交叉互连器件本体的表层设为上层SiO₂层(4)，所述上层SiO₂层(4)的下方设有共地层(5)，所述共地层(5)的下方设有上层取向膜层(6)，所述上层取向膜层(6)的下方设有液晶层(7)，所述液晶层(7)的下方设有下层取向膜层(8)，所述下层取向膜层(8)的下方设有绝缘层(11)，所述绝缘层(11)的内部设有驱动电极层(9)、金属防护层(10)和CMOS电开关阵列层(12)，所述驱动电极层(9)与CMOS电开关阵列层(12)平行间隔设置，所述驱动电极层(9)与CMOS电开关阵列层(12)之间设有金属防护层(10)，所述CMOS电开关阵列层(12)设置在硅基底(13)的上表面上。

2.根据权利要求1所述的一种基于液晶电光波导的光学交叉互连器件，其特征在于：所述光开关(1)阵列集成于同一具有CMOS电路的硅基底(13)。

3.根据权利要求1所述的一种基于液晶电光波导的光学交叉互连器件，其特征在于：每个所述光开关(1)均由液晶电光波导(103)和液晶芯波导(102)两部分级联构成，所述液晶电光波导(103)和液晶芯波导(102)平行间隔设置在多聚物包层(101)的内部。

4.根据权利要求3所述的一种基于液晶电光波导的光学交叉互连器件，其特征在于：所述液晶电光波导(103)部分设为一层连续的液晶层(7)，且液晶电光波导(103)的结构和路径由驱动电极的形状和路径进行定义。

5.根据权利要求3所述的一种基于液晶电光波导的光学交叉互连器件，其特征在于：所述液晶芯波导(102)的结构为在低折射率多聚物包层(101)中填充液晶，所述多聚物包层(101)包括多聚物包层本体(1011)，所述多聚物包层(101)本体的内部设有与液晶芯波导(102)相对应的液晶流道(1012)、与液晶电光波导(103)相对应的液晶空腔(1013)，以及上一级电开关的液晶芯波导(1014)。

6.根据权利要求1所述的一种基于液晶电光波导的光学交叉互连器件，其特征在于：所述驱动电极层(9)的绝缘部分(901)内设有直波导驱动电极(902)，相邻两个所述直波导驱动电极(902)之间两个分支波导驱动电极(903)连接。