[发明专利]一种可进行连续XRD在线监测的卷对卷MOCVD设备

权利要求书

1.一种可进行连续XRD在线监测的卷对卷MOCVD设备，其特征在于：由收放带系统、XRD系统、反应组件和驱动电机组成，所述收放带系统由放带装置和收带装置组成，所述放带装置由放带室和放带轮组成，所述收带装置由收带室和收带轮组成，所述收带轮与驱动电机的转轴连接，不锈钢带材的两端分别绕制在所述放带轮和所述收带轮上，所述放带轮上的所述不锈钢带材依次通过反应组件和所述XRD系统后与所述收带装置连接，所述收放带系统、所述XRD系统和所述反应组件之间通过连接部件固定连接。

2.根据权利要求1所述的可进行连续XRD在线监测的卷对卷MOCVD设备，其特征在于：所述反应组件由反应腔、加热系统和喷淋头组成，所述喷淋头设置于所述反应腔内的上部，所述不锈钢带材位于所述反应腔内的中部，所述加热系统位于所述反应腔内的下部，且位于所述不锈钢带材的下方。

3.根据权利要求1所述的可进行连续XRD在线监测的卷对卷MOCVD设备，其特征在于：所述收放带系统、所述XRD系统和所述反应组件之间设置有导向轮。

4.根据权利要求1所述的可进行连续XRD在线监测的卷对卷MOCVD设备，其特征在于：所述XRD系统包含X射线发生器、样品台、X射线探测器、X射线保护罩和石英管，所述石英管穿过所述X射线保护罩，所述X射线发生器和X射线探测器均通过一个固定支架固定于所述石英管外，且所述X射线发生器和X射线探测器位于X射线保护罩内，所述样品台位于所述石英管内，所述样品台的下端设置有样品台支架，所述样品台的两侧均设置有压紧轮，所述不锈钢带材位于压紧轮与样品台之间。