[发明专利]一种柔性电容器的制备方法

权利要求书

1.一种柔性电容器的制备方法，具体步骤如下：

(1)清洗柔性衬底

将柔性衬底商用铜箔放入丙酮中超声清洗20分钟，用去离子水冲洗后烘干，将烘干后的柔性衬底放入酒精中清洗20分钟，用去离子水冲洗后用氮气吹干；

(2)制备聚酰亚胺/环氧树脂复合体系

用电子天平称取聚酰亚胺和环氧树脂，随后将其混合，向其中加入有机溶剂乙二醇甲醚并搅拌均匀，完成后置入超声清洗器中超声10～20分钟，使溶液混合均匀，再将混合溶液静置，去除振荡过程中产生的气泡；

所述聚酰亚胺、环氧树脂、乙二醇甲醚的质量比为1：0.65：0.35；

(3)将步骤(1)清洗后的柔性衬底真空吸附在匀胶台上，使柔性衬底固定，用滴管将步骤(2)中的混合溶液均匀涂覆在柔性衬底上，低转速0.5～0.8千转/分钟，旋涂9～15秒，高转速3～6千转/分钟，旋涂40～60秒，得到聚酰亚胺/环氧树脂复合膜；

(4)将步骤(3)旋涂聚酰亚胺/环氧树脂复合膜的制品放入电热干燥箱中，蒸发有机溶剂乙二醇甲醚，在50～70℃温度下加热1.5～3小时，随后在160～200℃温度下加热1～3小时，固化聚酰亚胺/环氧树脂复合膜；

(5)将步骤(4)的制品温度降至80℃以下时，取出；

(6)步骤(5)制品的聚酰亚胺/环氧树脂复合膜上面利用掩膜版制备金属电极，制得柔性电容器。

2.根据权利要求1所述的一种柔性电容器的制备方法，其特征在于，所述步骤(2)的环氧树脂和乙二醇甲醚为分析纯试剂，聚酰亚胺为商用液体聚酰亚胺，固含量为20％。

3.根据权利要求1所述的一种柔性电容器的制备方法，其特征在于，所述步骤(3)聚酰亚胺/环氧树脂复合膜厚度为7～10μm，通过调节工艺参数控制复合膜厚度。

4.根据权利要求1所述的一种柔性电容器的制备方法，其特征在于，所述步骤(6)电极为矩形电极，尺寸为5×4mm，电极厚度为200～600nm，电极材料为Au或Pt；电极制备方法为热蒸镀法或者溅射法。

5.根据权利要求1所述的一种柔性电容器的制备方法，其特征在于，所制备柔性电容器的电容量为80～90pF，测试频率为100kHz。