[发明专利]锆钛酸钡薄膜压控变容管的制备方法

权利要求书

1.一种锆钛酸钡薄膜压控变容管的制备方法，具体步骤如下：

(1)采用固相烧结法制备BZT靶材

按BaZr_0.2Ti_0.8O₃的化学计量比，称取原料BaCO₃、ZrO₂和TiO₂，充分混合后压制成型为坯体，坯体置于电炉中于1200℃烧制BaZr_0.2Ti_0.8O₃即BZT靶材；

(2)将清洁干燥的Pt-Si衬底放入脉冲激光沉积制品台上，靶基距为4～10cm；

(3)将脉冲激光沉积系统的本底真空抽至P＜4.0×10^-4Pa，然后加热衬底至350～750℃；

(4)打开进气阀，向步骤(3)系统中通入氧气，氧气压强为0.8～60Pa，在Pt-Si衬底上沉积得到厚度为150-300nm的BaZr_0.2Ti_0.8O₃薄膜；

(5)步骤(4)停止后，待衬底温度降至100℃以下时，取出制品；

(6)在BaZr_0.2Ti_0.8O₃薄膜上面利用掩膜版制备金属电极，制得锆钛酸钡薄膜压控变容管。

2.根据权利要求所述的锆钛酸钡薄膜压控变容管的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)的原料纯度在99％以上。

3.根据权利要求所述的锆钛酸钡薄膜压控变容管的制备方法，其特征在于，所述步骤(4)的O₂的纯度在99.99％以上，脉冲激光沉积系统中氧气压强为0.8Pa～60Pa。

4.根据权利要求所述的锆钛酸钡薄膜压控变容管的制备方法，其特征在于，所述步骤(4)通过调节靶基距或者沉积时间控制薄膜厚度。

5.根据权利要求所述的锆钛酸钡薄膜压控变容管的制备方法，其特征在于，所述步骤(6)的电极为圆形电极，直径≤0.3mm，电极厚度为100～600nm，电极材料为Au或Pt；电极制备方法为热蒸镀法或者溅射法。

6.根据权利要求所述的锆钛酸钡薄膜压控变容管的制备方法，其特征在于，所锆钛酸钡薄膜压控变容管的调谐率≥60％，测试频率为100kHz。