[发明专利]一种适用于铜丝的耐腐蚀改性方法有效
| 申请号： | 201710863513.9 | 申请日： | 2017-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN107653385B | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 邵光伟 | 申请（专利权）人： | 江苏揽鑫新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C22C1/02 | 分类号： | C22C1/02;C22C9/06;C22F1/08;C25D3/50;C25D7/06;H01L21/48;H01L23/49 |
| 代理公司： | 苏州诚逸知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32313 | 代理人： | 高娟 |
| 地址： | 215500 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 铜丝 腐蚀 改性 方法 | ||
1.一种适用于铜丝的耐腐蚀改性方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)从原料铜中提取纯度大于99.999％的高纯铜，清洗、烘干后备用；
(2)将高纯铜以及占高纯铜质量5.5wt％的镍、3.8wt％的镓、1.2wt％的磷钨酸钾、0.5wt％的纳米氮化钽置于熔炼装置中熔化，采用木炭及石墨鳞片覆盖铜液表面保证熔化时的真空状态，并经在线除气、脱氧、搅拌，用牵引机组离合式真空上引无氧合金铜杆，随后采用连续挤压机组生产合金铜带坯料；
(3)将合金铜带坯料进行粗拔以制得直径为2mm的合金铜丝并退火；
(4)将退火后的按重量百分比计97.5wt％的合金铜丝作为铜芯，在所述铜芯的表面上电镀2.5wt％的纯钯；
(5)将完成步骤(4)的电镀有纯钯保护层的合金铜丝，精拔成直径为0.25mm的镀钯合金铜丝。
2.根据权利要求1所述的适用于铜丝的耐腐蚀改性方法，其特征在于：所述步骤(2)中，引杆速度550～650mm/min，引杆直径为25mm。
3.根据权利要求1所述的适用于铜丝的耐腐蚀改性方法，其特征在于：所述步骤(3)中，退火温度为350℃，退火时间为50min。
4.根据权利要求1所述的适用于铜丝的耐腐蚀改性方法，其特征在于：所述步骤(4)中，电镀用钯的纯度要求大于99.999％。
5.权利要求1～4任一项所述的改性方法所制得的镀钯合金铜丝在集成电路中的应用。
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