[发明专利]减压干燥装置和减压干燥方法

权利要求书

1.一种减压干燥装置，其特征在于，包括：

处理容器，其收纳形成有包含有机材料和溶剂的涂敷层的基板；

在所述处理容器的内部从下方保持所述基板的基板保持部；

与所述处理容器的排气口连接，对所述处理容器的内部进行减压的减压机构；和

限制从由所述基板保持部保持的所述基板的上表面附近向所述处理容器的排气口去的气流的气流限制部，

所述气流限制部包括：

在由所述基板保持部保持的所述基板的侧方遮挡气流的侧壁部；和

在由所述基板保持部保持的所述基板的上方遮挡气流的顶部，

所述侧壁部和所述顶部形成向下开放的箱状的罩，

所述罩在内部收纳由所述基板保持部保持的所述基板，

所述罩被分割为多个分割罩，

各所述分割罩包括：作为所述顶部的一部分的分割顶部；和作为所述侧壁部的一部分的分割侧壁部。

2.如权利要求1所述的减压干燥装置，其特征在于：

所述顶部包括供从由所述基板保持部保持的所述基板的上表面附近向上方去的气流通过的开口部。

3.如权利要求1所述的减压干燥装置，其特征在于：

所述气流限制部还包括在由所述基板保持部保持的所述基板的上方将所述罩的内部分隔的分隔部。

4.如权利要求3所述的减压干燥装置，其特征在于，还包括：

间隔调整部，其对由所述基板保持部保持的所述基板与所述分隔部在上下方向上的间隔进行调整。

5.如权利要求1～4中任一项所述的减压干燥装置，其特征在于：

至少一个所述分割罩包括：矩形的所述分割顶部；和设置于该分割顶部的相连的三个边的所述侧壁部。

6.如权利要求1～4中任一项所述的减压干燥装置，其特征在于：

至少一个所述分割罩包括：矩形的所述分割顶部；和设置于该分割顶部的彼此相对的两个边的所述侧壁部。

7.如权利要求1～4中任一项中任一项所述的减压干燥装置，其特征在于：

在至少一个所述分割罩设置有在由所述基板保持部保持的所述基板的上方将所述罩的内部分隔的分隔部。

8.如权利要求1或2所述的减压干燥装置，其特征在于：

所述顶部在俯视时仅与由所述基板保持部保持的所述基板的端部重叠。

9.如权利要求1或2所述的减压干燥装置，其特征在于：

所述顶部在俯视时仅与由所述基板保持部保持的所述基板的角部重叠。

10.一种减压干燥方法，其特征在于：

使用权利要求1～9中任一项所述的减压干燥装置使形成于所述基板的涂敷层干燥。

11.如权利要求10所述的减压干燥方法，其特征在于：

所述涂敷层用于有机EL发光二极管的制造。